[发明专利]运动装置

说明书

本发明公开了一种运动装置，包括至少一个基座台和至少一个承载台，每个基座台包括多个线圈阵列，各线圈阵列分别配置在基座台的多个平面上，各线圈阵列包括多个线圈，多个线圈沿第一方向两两相邻配置，每个基座台还包括多个金属板，多个金属板分别配置在各线圈阵列的表面上，沿第一方向线性延伸，与基座台上的平面封闭各线圈形成密闭空间；每个承载台包括多个磁体阵列，多个磁体阵列配置在承载台的多个平面上，各线圈阵列包括多个磁体，其中至少两个磁体具有相互不同的磁化方向，且沿第一方向交替排列，本发明通过将线圈阵列封闭在密闭空间内，使其免于外界环境干扰，实现了运动装置在真空环境下的应用。

技术领域

本发明涉及自动化装备领域，具体涉及一种运动装置。

背景技术

微电子技术是随着集成电路，尤其是超大规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术是高科技和信息产业的核心技术，已经渗入到现代技术和社会生活的各个领域。微电子技术的迅速发展，对自动化装备的需求越来越大，对自动化装备的性能和产能也提出了更高的要求。

在自动化装备制造领域，运动装置尤其是大行程运动装置技术是自动化装备制造系统的核心技术，一直受到行业内的高度重视。自动化装备的性能和产能，也对运动装置的速度加速度和定位精度等性能提出了更高的要求。传统的大行程运动装置，通常采用直线电机结合机械导轨的技术方式，或者采用直线电机结合气浮导轨的技术方式。直线电机结合机械导轨的技术方式，引入了机械摩擦，限制了性能的提高。直线电机结合气浮导轨的技术方式，虽然降低了机械摩擦的影响，但大尺寸的气浮支撑面对平整度要求非常高，增加了加工制造难度，提高了生产成本；而且气浮需要通正压气体，限制了在真空工况下的应用。

发明内容

本发明的目的是提供一种运动装置，该运动装置通过将线圈阵列封闭在密闭空间内，使其免于外界环境干扰，实现了运动装置在真空环境下的应用。

为实现上述目的，本发明提供了一种运动装置，包括至少一个基座台和至少一个承载台，每个承载台与对应的基座台可以产生相对运动，其特征在于，

每个基座台包括多个线圈阵列，所述多个线圈阵列包括：

第一线圈阵列，配置在与第一方向平行的所述基座台的第一平面上，所述第一线圈阵列包括多个第一线圈，所述多个第一线圈沿所述第一方向两两相邻配置；

第二线圈阵列，配置在与所述第一方向平行的所述基座台的第二平面上，所述第二线圈阵列包括多个第二线圈，所述多个第二线圈沿所述第一方向两两相邻配置；

其中，所述第一平面和所述第二平面相互不平行；

所述基座台还包括多个金属板，所述多个金属板包括：

第一金属板，配置在所述第一线圈阵列的表面上，所述第一金属板沿所述第一方向线性延伸，与所述第一平面封闭所述第一线圈阵列形成第一空间；

第二金属板，配置在所述第二线圈阵列的表面上，所述第二金属板沿所述第一方向线性延伸，与所述第二平面封闭所述第二线圈阵列形成第二空间；

其中，所述第一空间和所述第二空间为密闭空间；

每个承载台包括多个磁体阵列，所述多个磁体阵列包括：

第一磁体阵列，配置在与所述第一平面平行且相对的第三平面上，所述第一磁体阵列与所述第一线圈阵列分别在所述第一平面上的投影有交集；所述第一磁体阵列包括多个第一N磁体和多个第一S磁体，且所述第一N磁体与所述第一S磁体沿所述第一方向交替排列，所述第一N磁体与所述第一S磁体的磁化方向相互不同；