[发明专利]蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备自动开关门控制方法，其特征在于，蒸镀设备包括手套箱(200)、密封腔室(100)、设置于所述密封腔室(100)一侧开口处的第一电控门(1)和设置于所述密封腔室(100)另一侧开口处的第二电控门(2)；

所述第一电控门(1)处于大气中，且大气作用在所述第一电控门(1)上的压力为F1；所述第二电控门(2)处于所述手套箱(200)中，所述手套箱(200)内为惰性气体，所述手套箱(200)内的惰性气体作用在所述第二电控门(2)上的压力为F2；且所述手套箱(200)内的惰性气体压强大于大气压强；

初始状态下，所述第一电控门(1)和所述第二电控门(2)均处于关闭状态，所述密封腔室(100)内为真空环境，当需要打开所述第二电控门(2)时，所述蒸镀设备自动开关门控制方法包括如下步骤：

向所述第一电控门(1)施加一个压向所述密封腔室(100)方向的压力F3；

向所述密封腔室(100)内充入惰性气体，其中，所述密封腔室(100)内的惰性气体作用在所述第一电控门(1)上的压力F4小于F3和F1之和；

所述密封腔室(100)内的惰性气体作用在第二电控门(2)上的压力F5近似等于F2，控制所述第二电控门(2)开门。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备自动开关门控制方法，其特征在于，所述蒸镀设备自动开关门控制方法还包括：在手套箱(200)侧破真空后，停止对所述密封腔室(100)内充气。

3.根据权利要求2所述的蒸镀设备自动开关门控制方法，其特征在于，在步骤S3中，先使所述第二电控门(2)沿垂直于所述密封腔室(100)的开口所在平面的方向移动，然后使所述第二电控门(2)沿平行于所述密封腔室(100)的开口所在平面的方向移动，以打开所述第二电控门(2)。

4.根据权利要求1所述的蒸镀设备自动开关门控制方法，其特征在于，所述手套箱(200)内的惰性气体与所述密封腔室(100)内充入的惰性气体相同。

5.一种开门装置，其特征在于，用于密封腔室(100)的开闭，所述密封腔室(100)的两侧分别设置有开口，所述开门装置包括：

第一电控门(1)，设置于所述密封腔室(100)一侧的开口处，且所述第一电控门(1)被配置为处于大气中；

第二电控门(2)，设置于所述密封腔室(100)另一侧的开口处，且所述第二电控门(2)被配置为处于手套箱(200)中；

两个电动驱动机构，两个所述电动驱动机构分别用于驱动所述第一电控门(1)和所述第二电控门(2)的开闭，并能够向所述第一电控门(1)和所述第二电控门(2)施加压力；

控制模块，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时能够实现如权利要求1-4任一项所述的蒸镀设备自动开关门控制方法，以控制所述电动驱动机构的启闭；

所述电动驱动机构包括：

支撑板(3)，所述第一电控门(1)或所述第二电控门(2)可活动地设置在所述支撑板(3)上；

第一电控驱动组件(4)，用于驱动所述第一电控门(1)或第二电控门(2)沿垂直于所述密封腔室(100)的开口所在平面的方向移动；

第二电控驱动组件(5)，用于驱动所述支撑板(3)带动所述第一电控门(1)或所述第二电控门(2)沿平行于所述密封腔室(100)的开口所在平面的方向移动。

6.根据权利要求5所述的开门装置，其特征在于，所述第二电控驱动组件(5)包括电机(51)、丝杠(52)和丝杠螺母(53)，所述电机(51)和所述丝杠(52)均设置在所述密封腔室(100)的门框上，所述丝杠(52)平行于所述密封腔室(100)的开口所在平面，所述丝杠螺母(53)与所述丝杠(52)螺纹配合，且所述丝杠螺母(53)与所述支撑板(3)固定连接，所述电机(51)能够驱动所述丝杠(52)转动，以使所述支撑板(3)沿所述丝杠(52)移动。