[发明专利]蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备

说明书

本发明涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备。其中，所述蒸镀设备自动开关门控制方法，包括如下步骤：向第一电控门施加一个压向密封腔室方向的压力F3；向密封腔室内充入惰性气体，其中，密封腔室内的惰性气体作用在第一电控门上的压力F4小于F3和F1之和；当密封腔室内的惰性气体作用在第二电控门上的压力F5近似等于F2后，控制第二电控门开门。通过上述蒸镀设备自动开关门控制方法，实现双自动开关门型蒸镀设备开门顺序可控，在手套箱侧有更高气压时，保障大气侧腔门的水氧无法进入腔体及手套箱，提高器件制备及封装的稳定性，避免密封腔室暴露于大气中。

技术领域

本发明涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备。

背景技术

蒸镀设备通常包括手套箱和密封腔室，手套箱内为高压氮气环境用于蒸镀完成后续的操作，密封腔室的两侧分别设置有腔门，其中，密封腔室的一侧的腔门位于手套箱内，其另一侧的腔门外露于大气中，且手套箱内的高压氮气的气压大于密封腔室外侧的大气压。

传统的密封腔室大都为机械开关门，需要操作者手动开门，而当操作者佩戴手套箱的手套作业时，开关门较为困难。根据市场调研和实测结果，采用机械式的腔门锁死结构实际上存在着大气侧水氧进入腔体和手套箱侧造成手套箱内水氧飙升的问题，且随着内开腔时间的延长而不断加重，造成对手套箱环境及后续操作可靠性的影响。现有产品及技术不能满足用户需求，因此，亟待需要一种蒸镀设备自动开关门控制方法以解决上述问题。

发明内容

本发明的第一个目的在于提供一种蒸镀设备自动开关门控制方法，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性，且能够避免作业过程中密封腔室暴露于大气中。

本发明的第二个目的在于提供一种开门装置，用于密封腔室的开闭，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性，且能够避免作业过程中密封腔室暴露于大气中。

本发明的第三个目的在于提供一种蒸镀设备，通过应用上述开门装置，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性，且能够避免作业过程中密封腔室暴露于大气中。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

第一方面，提供了一种蒸镀设备自动开关门控制方法，蒸镀设备包括手套箱、密封腔室、设置于所述密封腔室一侧开口处的第一电控门和设置于所述密封腔室另一侧开口处的第二电控门；

所述第一电控门处于大气中，且大气作用在所述第一电控门上的压力为F1；所述第二电控门处于所述手套箱中，所述手套箱内为惰性气体，所述手套箱内的惰性气体作用在所述第二电控门上的压力为F2；且所述手套箱内的惰性气体压强大于大气压强；

初始状态下，所述第一电控门和所述第二电控门均处于关闭状态，所述密封腔室内为真空环境，当需要打开所述第二电控门时，所述蒸镀设备自动开关门控制方法包括如下步骤：

向所述第一电控门施加一个压向所述密封腔室方向的压力F3；

向所述密封腔室内充入惰性气体，其中，所述密封腔室内的惰性气体作用在所述第一电控门上的压力F4小于F3和F1之和；当所述密封腔室内的惰性气体作用在第二电控门上的压力F5近似等于F2后，控制所述第二电控门开门。

作为所述蒸镀设备自动开关门控制方法的可选方案，所述蒸镀设备自动开关门控制方法还包括：当在手套箱侧破真空后，停止对所述密封腔室内充气。

作为所述蒸镀设备自动开关门控制方法的可选方案，在步骤S3中，先使所述第二电控门沿垂直于所述密封腔室的开口所在平面的方向移动，然后使所述第二电控门沿平行于所述密封腔室的开口所在平面的方向移动，以打开所述第二电控门。

作为所述蒸镀设备自动开关门控制方法的可选方案，所述手套箱内的惰性气体与所述密封腔室内充入的惰性气体相同。