[发明专利]电子显微镜台

权利要求书

1.一种定位系统，包括：

第一托架，所述第一托架包括用于固持工件的固持器，所述第一托架联接到一个或多个第一驱动单元，所述一个或多个第一驱动单元被配置成使所述工件沿第一轴线、第二轴线和第三轴线平移，并且使所述工件围绕所述第二轴线旋转；

第二托架，所述第二托架容纳所述一个或多个第一驱动单元，所述第二托架联接到一个或多个旋转驱动单元，所述一个或多个旋转驱动单元被配置成使所述工件围绕所述第一轴线旋转。

2.根据权利要求1所述的定位系统，其中所述一个或多个第一驱动单元通过一个或多个支柱构件联接到所述第一托架。

3.根据权利要求2所述的定位系统，进一步包括柱，所述柱从所述第二托架延伸并且具有主体部分和尖端部分，其中所述第一托架被布置成邻近所述尖端部分，并且所述支柱构件延伸穿过所述主体部分。

4.根据权利要求1所述的定位系统，其中所述第一托架通过多个弹性支柱构件联接到所述第二托架。

5.根据权利要求4所述的定位系统，其中所述多个弹性支柱构件包括第一弹性支柱构件、第二弹性支柱构件和第三弹性支柱构件，每个弹性支柱构件具有第一端部部分和第二端部部分，并且其中所述弹性支柱构件被布置成三角形形状，使得每个支柱构件的所述第一端部部分联接到所述第一托架，并且每个支柱构件的所述第二端部部分联接到所述第二托架。

6.根据权利要求1所述的定位系统，其中所述一个或多个第一驱动单元包括：被配置成沿布置在公共平面内的轴线致动的第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元，以及被配置成沿布置在与所述公共平面平行的平面中的轴线致动的第四驱动单元。

7.根据权利要求6所述的定位系统，其中所述第一驱动单元和所述第二驱动单元被配置成使所述工件沿所述第一轴线和所述第二轴线移动，所述第三驱动单元被配置成使所述工件沿所述第三轴线移动，并且所述第四驱动单元被配置成使所述工件围绕所述第二轴线旋转。

8.根据权利要求6所述的定位系统，其中所述第一驱动单元、所述第二驱动单元、所述第三驱动单元和所述第四驱动单元分别通过第一弹性构件、第二弹性构件、第三弹性构件和第四弹性构件联接到所述第一托架。

9.根据权利要求8所述的定位系统，其中所述一个或多个第一驱动单元进一步包括第五驱动单元，所述第五驱动单元被配置成使所述工件围绕所述第三轴线旋转。

10.根据权利要求9所述的定位系统，其中所述第五驱动单元通过第五弹性构件联接到所述第一托架，并且其中所述第五弹性构件包括第一部分和第二部分，所述第一部分通过接头联接到所述第二部分，使得所述第五弹性构件具有L形形状。

11. 一种带电粒子束系统，包括：

真空室；以及

定位系统，所述定位系统延伸到所述真空室中并且包括

第一托架，所述第一托架包括用于固持工件的固持器，所述第一托架联接到一个或多个第一驱动单元，所述一个或多个第一驱动单元被配置成使所述工件沿第一轴线、第二轴线和第三轴线平移，并且使所述工件围绕所述第二轴线旋转；

第二托架，所述第二托架容纳所述一个或多个第一驱动单元，所述第二托架联接到一个或多个旋转驱动单元，所述一个或多个旋转驱动单元被配置成使所述工件围绕所述第一轴线旋转。

12.根据权利要求11所述的系统，其中所述定位系统被布置在所述真空室内。

13.根据权利要求11所述的系统，其中所述定位系统包括被布置在所述真空室的外表面上的壳体和延伸到所述真空室的内部中的柱。

14.根据权利要求13所述的系统，其中所述柱包括主体部分和尖端部分，并且其中所述第一托架被布置在所述尖端部分内。