[发明专利]电子显微镜台

说明书

一种用于电子显微镜的定位系统，包括：第一托架和第二托架，所述第一托架包括用于固持工件的固持器。所述第一托架联接到一个或多个第一驱动单元，所述一个或多个第一驱动单元被配置成沿第一轴线、第二轴线和第三轴线并且沿第一倾斜轴线定位所述工件。所述第二托架容纳所述一个或多个第一驱动单元，并且联接到一个或多个第二驱动单元，所述一个或多个第二驱动单元被配置成沿第二倾斜轴线定位所述工件。

技术领域

本公开涉及用于将工件固持在束系统中的定位系统和其使用方法。

背景技术

高分辨率成像和/或装置处理可以利用一种或多种仪器，如扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、离子柱、激光器和/或其它束生成仪器来完成。此类仪器可能需要精确地定位工件以捕获图像或对期望的区域进行处理。通常，定位系统包括可以将工件（或待成像的样本）安装到其上的载体元件以及被布置成使载体元件移动的致动器组，如马达。

由致动器中不准确的定位和/或振动引起的对定位的干扰可能会影响工件的成像和/或加工的质量。因此，需要用于定位工件的改进的定位系统。

发明内容

本文描述了用于与束系统一起使用的定位系统以及用于使用此类系统移动并定位工件的方法的实施例。

在代表性实施例中，定位系统可以包括第一托架和第二托架。所述第一托架可以包括用于固持工件的固持器并且可以联接到一个或多个第一驱动单元，所述一个或多个第一驱动单元被配置成使所述工件沿第一轴线、第二轴线和第三轴线平移，并且使所述工件围绕所述第二轴线旋转。所述第二托架可以容纳所述一个或多个第一驱动单元并且可以联接到一个或多个旋转驱动单元，所述一个或多个旋转驱动单元被配置成使所述工件围绕所述第一轴线旋转。

在一些实施例中，所述一个或多个第一驱动单元通过一个或多个支柱构件联接到所述第一托架。所述定位系统可以进一步包括柱，所述柱从所述第二托架延伸并且具有主体部分和尖端部分。所述第一托架可以被布置成邻近所述尖端部分，并且所述支柱构件可以延伸穿过所述主体部分。

在一些实施例中，所述第一托架通过多个弹性支柱构件联接到所述第二托架。所述多个弹性支柱构件可以包括第一弹性支柱构件、第二弹性支柱构件和第三弹性支柱构件，每个弹性支柱构件具有第一端部部分和第二端部部分。所述弹性支柱构件可以被布置成三角形形状，使得每个支柱构件的所述第一端部部分联接到所述第一托架，并且每个支柱构件的所述第二端部部分联接到所述第二托架。

在一些实施例中，所述一个或多个第一驱动单元可以包括：被配置成沿布置在公共地方内的轴线致动的第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元，以及被配置成沿布置在与所述公共平面平行的平面中的轴线致动的第四驱动单元。在此类实施例中，所述第一驱动单元和所述第二驱动单元可以被配置成使所述工件沿所述第一轴线和所述第二轴线移动，所述第三驱动单元可以被配置成使所述工件沿所述第三轴线移动，并且所述第四驱动单元可以被配置成使所述工件围绕所述第二轴线旋转。

所述第一驱动单元、所述第二驱动单元、所述第三驱动单元和所述第四驱动单元可以分别通过第一弹性构件、第二弹性构件、第三弹性构件和第四弹性构件联接到所述第一托架。在一些实施例中，所述定位系统可以进一步包括通过第五弹性构件联接到所述第一托架的第五驱动单元。所述第五弹性构件可以包括第一部分，所述第一部分通过接头联接到第二部分，使得所述第五弹性构件具有L形形状。

在另一个代表性实施例中，一种带电粒子束系统可以包括真空室和定位系统。所述定位系统可以延伸到所述真空室中并且可以包括第一托架和第二托架。所述第一托架可以包括用于固持工件的固持器并且可以联接到一个或多个第一驱动单元，所述一个或多个第一驱动单元被配置成使所述工件沿第一轴线、第二轴线和第三轴线平移，并且使所述工件围绕所述第二轴线旋转。所述第二托架可以容纳所述一个或多个第一驱动单元并且可以联接到一个或多个旋转驱动单元，所述一个或多个旋转驱动单元被配置成使所述工件围绕所述第一轴线旋转。