[发明专利]一种无网结SE网版蚀刻工艺在审
| 申请号： | 202011269140.0 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112458461A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 卢志强 | 申请（专利权）人： | 上海新倬壮印刷科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201613 上海市松江区漕河*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 无网结 se 蚀刻 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种无网结SE网版蚀刻工艺，包括以下步骤：
S1冲洗
对需要加工的网版进行清洁加工，采用去离子水对SE网版进行冲洗，冲洗时间为20-60s；
S2涂布
利用聚酰亚胺、感光性乳剂或其它乳剂类产品对网版进行涂布，形成保护膜，保护膜的厚度为5-200μm；
S3图案处理
图案处理：根据需求将网版通过曝光/激光方式处理得到图案，然后冲洗，得到的网版情况如下：特定位置的钢丝裸露，其余位置用乳剂保护。
S4蚀刻
将SE网版放置于蚀刻槽的蚀刻液中进行蚀刻反应，待蚀刻完成后，浸入清洗液中进行清洗处理。
2.根据权利要求1所述的一种无网结SE网版蚀刻工艺，其特征在于，所述步骤S1中，所述冲洗时间为40s。
3.根据权利要求1所述的一种无网结SE网版蚀刻工艺，其特征在于，所述步骤S4中，所述蚀刻液，包括以下重量百分比的原料：
HCl：3-5%，FeCl3：30-40%、H3PO4：10-15%，NaCl：1-2%。
4.根据权利要求1所述的一种无网结SE网版蚀刻工艺，其特征在于，所述步骤S4中，所述蚀刻反应的条件为，温度40-70℃，时间1-30min。
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