[发明专利]一种集成电路量产测试异常故障监控系统

说明书

本发明公开了一种集成电路量产测试异常故障监控系统，涉及半导体测试应用技术领域；本发明包含的功能为多种报警类型设定、测试项目显示设定、ATE测试数据存储、实时数据监控控制、多种报警形式设定、测试ATE与测试终端通讯；本发明为在线数据监控工具，可根据测试程序选择监控测试项目、设定测试项目监控项参数，完成对ATE测试项目数据结果的实时监控，在触发报警监控条件后及时通知ATE停止测试并弹窗提示；同时保存ATE反馈的测试数据生成文件；本发明相较于传统测试监控系统发现异常数据时间需要1天以上，优化为了现在可以实时报警，并对异常项目图形化显示，减少了工程师分析数据的时间，本发明对工厂的质量管理、效率提升带来了很大的帮助。

技术领域

本发明涉及半导体测试应用技术领域，尤其涉及一种集成电路量产测试异常故障监控系统。

背景技术

本发明解决了客户无法对具体测试项目的实时情况进行监控分析的问题，同时解决了在发生故障时，无法及时定位处理故障的问题，提高了客户产品测试质量，减少了由于故障发生未及时处理造成的测试事故损失

在集成电路制作方法中，为提高芯片的制造品质、降低制造成本、缩短生产周期等目的，数据监控以及信息管理系统整合自动化的制造是现今集成电路厂所要研究的重要课题。一个完整的电脑整合自动化系统大致包括了生产排程系统、品质管理系统、监控系统、和自动化界面系统等。由于集成电路产品的不断推陈出新，各个制造流程和细节也更趋复杂，因此自动化系统中就必须有一个良好的生产排程系统和管理系统，而为了元件的制造品质，更必须有一套品质管理系统和监控系统加以控制。

现有的集成电路测试系统只有针对集成电路测试中机台的低良、全良、全失效等个别异常现象进行监控，缺少对重点测试项目或测试精度要求非常高的项目进行监控，以及机台多测试站之间的偏差，测试项目随测试时间的偏移进行异常监控等。

随着行业的发展，测试工厂与集成电路设计公司对产品品质的要求越来越高，客户对集成电路测试系统的要求也越来越严格，在详细沟通了解客户需求后，开发了一种集成电路量产测试异常故障监控系统。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对背景技术中无法对具体测试项目的实时情况进行监控分析的问题提供一种集成电路量产测试异常故障监控系统。

本发明为解决上述技术问题采用以下技术方案：

一种集成电路量产测试异常故障监控系统，包含数据采集模块、数据监控算法分析模块、数据监控显示模块、异常数据处理模块、测试系统以及机械手和探针；

其中，数据采集模块、数据监控算法分析模块、数据监控显示模块以及异常数据处理模块构成了本系统，

所述数据采集模块采集测试项目中的测试数据，

通过数据监控算法分析模块对采集到的测试数据进行监控以及分析，

然后再辅以图形化的数据监控显示模块将数据图形化显示，

将异常数据反馈给客户端，

测试系统及时定位问题产品，

机械手和探针台随后对问题产品进行检出。

作为本发明一种集成电路量产测试异常故障监控系统的进一步优选方案，本系统包含的功能为多种报警类型设定、测试项目显示设定、ATE测试数据存储、实时数据监控控制、多种报警形式设定、测试ATE与测试终端通讯；

作为本发明一种集成电路量产测试异常故障监控系统的进一步优选方案，本系统的功能模块包含有，

Data Monitoring：主框架界面，提供子页面管理；

View Count：提供Summary的显示，包括各个site的良率统计，Bin的良率统计；

Tab Page Module：提供显示各个测试Module以及各个Item测试数据的散点图、折线图；

Yeild Info：提供显示总良率和各个site良率、计数；