[发明专利]一种极薄玻璃刻蚀减薄装置及方法

说明书

本发明提供一种极薄玻璃刻蚀减薄装置及方法，包括：若干玻璃夹持架，若干所述玻璃夹持架包括两端设置的夹持盘，两侧所述夹持盘的瀑布流挡板槽内通过挡流板相连接；统一操动机构，若干所述活动轴均活动插设在同一根牵拉连杆上；减薄刻蚀箱，若干所述玻璃夹持架两端通过密封轴承活动安装在减薄刻蚀箱两侧；瀑布流喷淋板，所述瀑布流喷淋板底部阵列式安装有若干喷淋头，本发明通过若干玻璃夹持架的夹持，能够进行直立式浸泡刻蚀和瀑布流式刻蚀法，通过在待检测玻璃两侧安装挡流板，使得待刻蚀玻璃两侧与挡流板形成的缝隙处，克服了瀑布流法无法进行双侧刻蚀的缺陷，大大提高了刻蚀的质量，提高了装置的使用范围。

技术领域

本发明涉及刻蚀减薄装置技术领域，具体为一种极薄玻璃刻蚀减薄装置及方法。

背景技术

随着便携式电子器件的发展，手机、平板等便携式电子器件越来越纤细化及薄型化，因此需要制造较薄的玻璃基板，为了制造较薄的玻璃基板，目前的采用的方法包括物理式减薄法和化学式减薄法，而化学式减薄法中又细分为多片直立式浸泡法、单片直立式喷淋法和瀑布流法。

上述三种化学式减薄方法各有优缺点，诸如：

多片直立式浸泡法：反应产物会悬浮于玻璃减薄液中，然后再粘附在玻璃上，这种方法容易造成蚀刻不均，导致进行减薄后还需要进行抛光处理，提高了制备成本；

单片直立式喷淋法：可以满足两面不同的刻蚀要求，但刻蚀效率低，且由于喷淋的不均匀性容易导致玻璃表面出现凹点；

瀑布流法：由于采用瀑布式刻蚀方式，刻蚀液得以从玻璃上滑落，此种刻蚀方法处理后的玻璃表面光滑，甚至无需进行抛光，但瀑布流法仍然存在较为明显的缺点，由于采用重力式下落法，无法对玻璃的正反面同时进行瀑布流刻蚀，刻蚀效率较低。

而现有技术中申请号为“CN201410066425.2”的一种玻璃减薄设备和玻璃减薄方法，玻璃减薄设备包括箱体和设置于箱体中的喷淋装置，箱体中设有依次排列的第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽和干燥槽，喷淋装置包括分别位于第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽的槽底上方的第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管，上述玻璃减薄设备进行在不同的槽中进行喷淋洗涤和刻蚀的减薄方法能够避免浸泡式减薄法中的反应产物粘附于玻璃上的问题，并且依次经过第一刻蚀槽、第二刻蚀槽和第三刻蚀槽的三次刻蚀，避免浸泡式刻蚀不均匀的问题。

上述设备采用直立喷淋式减薄方法，虽然通过在不同槽中进行喷淋刻蚀，解决了反应物粘附与玻璃上的问题，但上述装置采用的喷淋刻蚀方法本身容易导致玻璃表面出现凹点。

因此，本发明的目的在于设计一种多功能、高效率、有效减少不良率且刻蚀质量高的一种极薄玻璃刻蚀减薄装置及方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种极薄玻璃刻蚀减薄装置及方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种极薄玻璃刻蚀减薄装置，包括：

若干玻璃夹持架，若干所述玻璃夹持架包括两端设置的夹持盘，两侧的所述夹持盘通过连杆固定连接，所述两侧的所述夹持盘内侧均开设有玻璃夹持槽，所述玻璃夹持槽内部均活动安装有夹持橡胶条，所述玻璃夹持槽两侧的夹持盘上还开设有瀑布流挡板槽，两侧所述夹持盘的瀑布流挡板槽内通过挡流板相连接；

统一操动机构，所述统一操动机构包括固定安装在若干玻璃夹持架一侧的倾斜连杆，所述倾斜连杆远离玻璃夹持架一端均固定安装有活动轴，若干所述活动轴均活动插设在同一根牵拉连杆上；

减薄刻蚀箱，若干所述玻璃夹持架两端通过密封轴承活动安装在减薄刻蚀箱两侧；