[发明专利]一种含碳化硅膜的多孔陶瓷的制备方法在审

专利信息
申请号: 202011276517.5 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN112299871A 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
主分类号: C04B38/06 分类号: C04B38/06;C04B35/565;C04B35/622;C04B35/64
代理公司: 哈尔滨市文洋专利代理事务所(普通合伙) 23210 代理人: 王艳萍
地址: 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 一种 碳化硅 多孔 陶瓷 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种含碳化硅膜的多孔陶瓷的制备方法,其特征在于该方法按以下步骤进行:

一、将粗、细两种碳化硅粉末按质量比为1:(0.2~2)混合均匀,得到碳化硅混合粉末;按碳化硅混合粉末的质量百分浓度为10%~30%将碳化硅混合粉末加入到无水非极性溶剂中,混合均匀后,再按二三价金属醇盐的质量百分浓度为0.1%~0.3%加入二三价金属醇盐,搅拌反应30~60min,得到碳化硅分散液Ⅰ;

二、按水与正丁醇的混合溶液的质量百分浓度为1%~3%,将水与正丁醇的混合溶液滴加到碳化硅分散液Ⅰ中,搅拌反应30~60min,得到碳化硅分散液Ⅱ;

三、将碳化硅分散液Ⅱ在高于所使用有机溶剂沸点的条件下干燥12h~24h,得到处理过的碳化硅粉末;

四、按分散剂的质量百分比浓度为1%~10%、处理过的碳化硅粉的质量百分比浓度为10%~30%、烧结助剂的质量百分浓度为1%~10%称取分散剂、处理过的碳化硅粉和烧结助剂;先将分散剂加入到去离子水中,搅拌均匀后再加入处理过的碳化硅粉,搅拌分散2~5min后再加入烧结助剂,持续搅拌5~10min,得到浆液;

五、将多孔陶瓷支撑体浸入到浆液中保持1~5min后取出,在温度为40~80℃的条件下干燥8~24h,得到预制体;

六、将预制体放在烧结炉中,将烧结炉腔内先抽真空至10-4-10-6Pa,然后充入氩气至5~10个大气压,然后以1000~1500℃/h的升温速度加热到1500~2000℃保持4~5h,降温,得到含碳化硅膜的多孔陶瓷。

2.根据权利要求1所述的一种含碳化硅膜的多孔陶瓷的制备方法,其特征在于步骤一中所述的无水非极性溶剂为正己烷、环己烷、石油醚或二氧六环。

3.根据权利要求1或2所述的一种含碳化硅膜的多孔陶瓷的制备方法,其特征在于步骤一中所述的二三价金属醇盐为三异丙醇铝、三乙醇铝、乙醇镁或异丙醇镁。

4.根据权利要求1或2所述的一种含碳化硅膜的多孔陶瓷的制备方法,其特征在于步骤二中所述的水与正丁醇的混合溶液中,水与正丁醇的摩尔比为1:(4~5)。

5.根据权利要求1或2所述的一种含碳化硅膜的多孔陶瓷的制备方法,其特征在于步骤四中所述的分散剂为聚乙二醇、聚丙烯酰胺或羧甲基纤维素。

6.根据权利要求1或2所述的一种含碳化硅膜的多孔陶瓷的制备方法,其特征在于步骤四中所述的分烧结助剂为氧化铝、氧化钇或硼。

7.根据权利要求1或2所述的一种含碳化硅膜的多孔陶瓷的制备方法,其特征在于步骤五中所述的多孔陶瓷支撑体的孔径范围1~1000μm,孔隙率为20%~90%。

8.根据权利要求1或2所述的一种含碳化硅膜的多孔陶瓷的制备方法,其特征在于步骤五中所述的多孔陶瓷支撑体为氧化铝、氮化硼或碳化硅。

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