[发明专利]一种管芯的检漏设备及工艺

权利要求书

1.一种管芯检漏工艺，通过检漏设备对管芯(1)进行检漏操作，其特征在于，所述管芯(1)包括从下到上依次组装连接到一起的阴极组件(2)、阳极组件(3)和排气管组件(4)，所述检漏设备包括上夹具(6)和下夹具(7)，将所述排气管组件插入到下夹具(7)中，上夹具(6)覆盖阴极组件(2)和阳极组件(3)，所述检漏设备对管芯依次进行大漏检测、小漏检测和氦漏检测。

2.根据权利要求1所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，所述氦漏检测包括对阴极组件(2)焊接处、阳极组件(3)焊接处和排气管组件(4)焊接处进行喷氦的氦漏检测。

3.根据权利要求1所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，具体包括如下步骤：

S1.预选，将外形不合格的管芯(1)挑出；

S2.启动检漏设备，在检漏设备自启完成、运行稳定的条件下启动检漏仪的检测状态；

S3.将待检的管芯(1)放入检漏设备，排气管组件(4)插入下夹具(7)内，上夹具(6)覆盖阴极组件(2)和阳极组件(3)，所述检漏设备依次执行大漏检测、小漏检测和氦漏检测，并筛选出不合格工件，将密封性好的管芯(1)送入下一个操作阶段。

4.根据权利要求3所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，所述S3包括如下步骤：

S31.执行大漏检测工序，在管芯(1)内部真空度达到第一预设值P1时，继续执行小漏检测工序；

S32.执行小漏检测工序，在管芯(1)内部真空度达到第二预设值P2时，继续执行氦漏检测工序；

S33.执行氦漏检测工序，在管芯(1)内部没有检测到氦气，说明管芯无氦漏现象，可以继续执行后续操作。

5.根据权利要求4所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，所述S31包括：

S311.待测管芯(1)的排气管组件(4)插入下夹具(7)内部，操作控制台，使得上夹具(6)扣压在阴极组件(2)和阳极组件(3)的外部，真空装置(13)通过真空管道(14)对管芯(1)内部抽真空，同时获取管芯(1)内部的真空度；

S312.判断管芯(1)内部真空度是否达到第一预设值P1，若是，说明管芯(1)无大漏现象，继续执行小漏检测工序，进入步骤S32；若否，说明待测的管芯(1)有大漏现象，同时在显示装置上显示不合格工件的位置，操作控制台使与出现大漏的管芯(1)对应的真空管道(14)关闭，并继续执行步骤S32。

6.根据权利要求4所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，所述S32包括：

S321.继续对无大漏现象的管芯(1)抽真空，同时获取管芯(1)内部的真空度；

S322.判断管芯(1)内部真空度是否能达到第二预设值P2，若是，说明管芯(1)无小漏现象，进入步骤S33执行氦漏检测工序；若否，说明管芯(1)有小漏现象，同时在显示装置上显示不合格工件的位置，通过操作控制台，使与出现小漏的管芯(1)对应的氦气管道(15)关闭，并继续执行步骤S33。

7.根据权利要求4所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，所述S33包括：对无小漏现象的管芯(1)，关闭真空管道(14)，通过氦气气源(17)对管芯(1)的外部喷氦气，判断管芯(1)的内部是否有氦气进入；若是，说明对应的管芯(1)有氦漏现象，若否，说明对应的管芯(1)无氦漏现象，管芯(1)气密性良好，符合标准，结束检漏操作，并可以进行后续操作。

8.根据权利要求4所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，第一预设值P1＞第二预设值P2。

9.一种管芯检漏设备，其特征在于，所述检漏设备的上夹具(6)和下夹具(7)均为一端开口的筒状结构，所述上夹具(6)和下夹具(7)的开口相对设置；所述筒状结构的上夹具(6)的内径尺寸大于管芯(1)的外径尺寸。

10.根据权利要求9所述的一种管芯检漏设备，其特征在于，所述检漏设备还包括第一支撑板(8)、第二支撑板(9)、底座(10)和伸缩轴(11)，所述伸缩轴(11)和第一支撑板(8)连接，上夹具(6)分布在第一支撑板(8)上，通过伸缩轴(11)带动上夹具(6)升降。