[发明专利]一种液态源存储设备

权利要求书

1.一种液态源存储设备，应用于原子层沉积设备中，其特征在于，包括：

存储罐体，用于存储原子层沉积所需的液态的前驱体材料；

压力检测装置，设置于所述存储罐体上并连通所述存储罐体内部，用于检测所述存储罐体内部的气体压强并显示；

压力调节管，所述压力调节管的一端连接所述存储罐体，另一端连接尾气处理装置；

流量阀，设置于所述压力调节管上，所述流量阀根据所述气体压强对应的流量调节信息进行流量调节；

所述压力检测装置为压力计，所述压力计包括一检测端、一弹簧管和一示教指针，其中所述检测端为一弹性薄膜，所述弹簧管和所述检测端一体连接并填充有一定的工作液，当所述存储罐体的内部产生压强时，所述弹性薄膜发生形变挤压工作液的存储空间进而导致所述弹簧管产生伸缩形变，所述弹簧管的伸缩形变通过一机械传导结构带动所述示教指针进行偏移和旋转，通过所述示教指针的转动结合刻度盘实现气体压强的检测和显示。

2.如权利要求1所述的液态源存储设备，其特征在于，所述液态源存储设备还包括；

第一单向管道，所述第一单向管道的一端连接一惰性气体源，另一端连接所述存储罐体，所述惰性气体源对应的惰性气体通过所述第一单向管道进入所述存储罐体；

第二单向管道，所述第二单向管道的一端连接所述存储罐体，另一端连接一反应腔室。

3.如权利要求2所述的液态源存储设备，其特征在于，所述第一单向管道和所述第二单向管道分别包括一阻通阀。

4.如权利要求1所述的液态源存储设备，其特征在于，所述流量阀为一蝶阀，包括：

阀体，所述阀体呈圆环形，与所述压力调节管同径设置并与所述压力调节管相匹配；

阀杆，沿所述压力调节管的径向设置，所述阀杆的一端可转动的连接所述阀体，另一端连接一驱动电机的输出轴并可随所述输出轴的转动而转动；

阀芯，连接所述阀杆，所述阀芯与所述阀体相匹配并可随所述阀杆的转动而转动。

5.如权利要求4所述的液态源存储设备，其特征在于，所述驱动电机为步进电机。

6.如权利要求4所述的液态源存储设备，其特征在于，所述阀杆的另一端通过一联轴器与所述驱动电机的输出轴相连接。

7.如权利要求4所述的液态源存储设备，其特征在于，所述压力检测装置还用于将所述气体压强作为流量调节信号进行输出；

所述液态源存储设备还包括一控制器，所述控制器分别电连接所述压力检测装置和所述驱动电机，根据所述流量调节信号控制所述驱动电机的输出轴旋转相应的角度；

所述阀芯的开合角度与所述角度相对应。

8.如权利要求7所述的液态源存储设备，其特征在于，所述开合角度的范围为[0°，90°]和/或[-90°，0°]。

9.如权利要求1所述的液态源存储设备，其特征在于，所述前驱体材料包括双(二甲基氨基)二乙基硅烷或正硅酸乙酯。

10.如权利要求2所述的液态源存储设备，其特征在于，所述惰性气体包括氩气或氮气。