[发明专利]一种用于制造半导体的化学品供应系统及其净化方法

权利要求书

1.一种用于制造半导体的化学品供应系统，包括完全相同的至少两套供应设备以及和每套供应设备化学药品罐的出液口连接的沉积腔，每套供应设备包括一个用于储存需要进行沉积的化学药品的化学药品罐，化学药品罐的进气口和出液口间有第一桥接管，并在第一桥接管上设置第一三通阀，第一三通阀的第三个接口连接另一个化学药品罐第一桥接管处第一三通阀的对应接口，化学药品罐的进气口通过管路连接增压器，化学药品罐到增压器的管路上到化学药品罐到沉积腔的管路上设有第二桥接管，第二桥接管上的第二三通阀的第三个接口和另一个化学药品罐第二桥接管处第二三通阀的对应接口连接，其特征在于：第一三通阀的第三个接口连接另一个化学药品罐第一桥接管处第一三通阀的对应接口的管路为第一支路，第二三通阀的第三个接口连接另一个化学药品罐第二桥接管处第二三通阀的对应接口的管路为第二支路，还包括用于存放管路冲洗溶剂的溶剂罐以及冲洗管路后废液回收的废液罐，溶剂罐的出液口连接在第二支路上，溶剂罐的进气口连接增压器，废液罐包括两个进液口和一个出气口，两个进液口分别连接在第一支路和第二支路上，出气口连接真空泵和外部出气口。

2.根据权利要求1所述的用于制造半导体的化学品供应系统，其特征在于：每个化学药品罐的出液口同时充当进液口。

3.根据权利要求1所述的用于制造半导体的化学品供应系统，其特征在于：每个桥接管的任意端部与任意管路连接的结合处采用三通阀接合。

4.根据权利要求1所述的用于制造半导体的化学品供应系统，其特征在于：溶剂罐的出液口管路、溶剂罐的进气口管路、废液罐的进液口管路和废液罐的出气口管路上均设有截止阀。

5.根据权利要求1所述的用于制造半导体的化学品供应系统，其特征在于：两套供应设备的第二桥接管和化学药品罐进液口管路的结合处到沉积腔的管路上设有截止阀。

6.根据权利要求1～5任意一项所述的用于制造半导体的化学品供应系统，其特征在于：所有的截止阀和三通阀均为电磁阀，并能够被控制器控制。

7.一种如权利要求1所述的用于制造半导体的化学品供应系统的净化方法，其特征在于：包括以下步骤：

1)当一个化学药品罐中的药品余量不足时，打开另一套化学药品罐输送到沉积腔的路径，同时，当前套供应设备通过第一支路或第二支路将药品输送到另一套供应设备的桥接管，并打开桥接管用于输送至沉积腔方向的三通，使得当前套供应设备化学药品罐内的药品能够被完全用尽；

2)当当前套供应设备化学药品罐内的药品被完全用尽，关闭另一套供应设备的第一三通阀和第二三通阀，打开连接溶剂罐的增压器，在当前套供应设备中，使得溶剂罐内的清洗剂沿第二支路、第二三通阀、第二桥接管、增压器到第一桥接管的管路、第一三通阀、第一支路以及废液罐的方向清洗管路；

3)再按照第二支路、第二三通阀、第二桥接管、沉积腔到第一桥接管的管路、第一三通阀、第一支路以及废液罐的方向清洗管路；

4)当前套供应设备清洗完成后更换新的化学药品罐并待命；

5)当另一套供应设备的化学药品罐中余量不足时，采用同样方式，切换到当前套供应设备，并采用相同的清洗路径对另一套供应设备的管路进行清洗以及化学药品罐的更换；

6)重复步骤1～5直至废液罐中气压达到上限，打开真空泵和外部出气口，使得废液罐内废气进入下一步处理工序，并更换废液罐。

8.根据权利要求7所述的用于制造半导体的化学品供应系统的净化方法，其特征在于：所述步骤1)和步骤5)中，当化学药品罐中药品余量不足时，通过第一支路的路径进行转换供液。

9.根据权利要求7所述的用于制造半导体的化学品供应系统的净化方法，其特征在于：所述步骤2)和步骤3)中，所有的三通阀除了输送清洗剂的方向保持外，其他方向关闭。

10.根据权利要求7所述的用于制造半导体的化学品供应系统的净化方法，其特征在于：溶剂罐的出液口管路和废液罐的进液口管路与两个支路的结合处均采用三通阀接合，使得当清洗剂按照步骤2)或3)的方向进行清洗时，三通阀朝向其他方向的接口关闭。