[发明专利]制造装置用气体供给装置及方法、雾化装置、3D层叠造形装置、层叠造形系统、及造形物

权利要求书

1.一种制造装置用气体供给装置，具备：

惰性气体供给源，供给惰性气体；

供给管线，连接于该惰性气体供给源；

氮去除部，设于该供给管线上，去除所述惰性气体中包含的氮的至少一部分；以及

氧去除部，设于所述供给管线上，去除所述惰性气体中包含的氧的至少一部分。

2.根据权利要求1所述的制造装置用气体供给装置，其中，还具备：

循环管线，将所述供给管线的下游侧的端部与所述惰性气体供给源的下游侧且比所述氮去除部和所述氧去除部靠上游侧的位置连接；以及

循环压缩机，设于该循环管线上。

3.根据权利要求2所述的制造装置用气体供给装置，其中，

还具备罐体，所述罐体设于所述循环管线上，储存所述惰性气体。

4.根据权利要求2或3所述的制造装置用气体供给装置，其中，具备：

检测部，设于所述供给管线上，检测穿过所述氮去除部和所述氧去除部的所述惰性气体的氧分压和氮分压；

第一阀装置，设于所述供给管线上的比所述供给管线与所述循环管线的连接部靠所述惰性气体供给源侧；

第二阀装置，设于所述供给管线上的比所述供给管线与所述循环线的连接部靠下游侧；以及

控制装置，基于所述检测部的检测结果使该第一阀装置和第二阀装置开闭，

所述控制装置构成为：在通过所述检测部检测到的所述惰性气体的氮分压和氧分压比预先确定的阈值高的状态下，打开所述第一阀装置，并且关闭所述第二阀装置，在所述氮分压和所述氧分压成为所述阈值以下的状态下，关闭所述第一阀装置，并且打开所述第二阀装置。

5.根据权利要求4所述的制造装置用气体供给装置，其中，

所述控制装置构成为：在通过所述检测部检测到的所述惰性气体的所述氮分压和所述氧分压比预先确定的阈值高的状态下，打开所述第一阀装置，在所述氮分压和所述氧分压成为所述阈值以下的状态下，关闭所述第一阀装置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的制造装置用气体供给装置，其中，

还具备加热部，所述加热部设于所述氮去除部和所述氧去除部与所述惰性气体供给源之间，加热从所述惰性气体供给源供给至所述供给管线的所述惰性气体。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的制造装置用气体供给装置，其中，

在所述氧去除部中，确定穿过将左纵轴设为标准反应吉布斯能、将右纵轴设为氧分压的埃林汉姆图上的预先选择出的金属种类的熔点和该埃林汉姆图中的所述左纵轴的原点的直线，将该直线穿过的所述右纵轴上的值以下的值确定为所述惰性气体的氧分压的目标值。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的制造装置用气体供给装置，其中，

在所述氮去除部中，确定穿过将左纵轴设为标准反应吉布斯能、将右纵轴设为氮分压的埃林汉姆图上的预先选择出的金属种类的熔点和该埃林汉姆图中的所述左纵轴的原点的直线，将该直线穿过的所述右纵轴上的值以下的值确定为所述惰性气体的氮分压的目标值。

9.一种雾化装置，具备：

权利要求1至8中任一项所述的制造装置用气体供给装置；以及

雾化器，通过将从该制造装置用气体供给装置供给的所述惰性气体喷射至熔融后的金属来形成金属粉末。

10.一种3D层叠造形装置，具备：

权利要求1至8中任一项所述的制造装置用气体供给装置；以及

造形装置主体，通过在从该制造装置用气体供给装置供给的所述惰性气体的气氛下使金属粉末熔融、层叠来进行造形。

11.一种层叠造形系统，具备权利要求9所述的雾化装置和权利要求10所述的3D层叠造形装置。

12.一种造形物，通过权利要求11所述的层叠造形系统进行制造。