[发明专利]一种覆盖膜开口图案加工方法在审
| 申请号： | 202011289647.2 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN113751878A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王成勇;郑李娟;黄欣;陆慧娟;彭超;周倩楠 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学;鹏鼎控股（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/402 |
| 代理公司： | 广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438 | 代理人： | 陈旭燕 |
| 地址： | 510000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 覆盖 开口 图案 加工 方法 | ||
1.一种覆盖膜开口图案加工方法，其特征在于，包括以下步骤：
确定覆盖膜的厚度和图案的开口尺寸；
根据所述厚度确定脉冲数，根据所述开口尺寸确定光圈直径、脉冲宽度；以及
按照确定的所述脉冲数、所述光圈直径以及所述脉冲宽度，采用CO2激光加工。
2.如权利要求1所述的覆盖膜开口图案加工方法，其特征在于：所述CO2激光沿填充路径进行叠孔加工。
3.如权利要求2所述的覆盖膜开口图案加工方法，其特征在于：所述叠孔加工的叠孔率为20％-90％。
4.如权利要求3所述的覆盖膜开口图案加工方法，其特征在于：所述CO2激光加工后，检查所述开口的边缘质量，如所述边缘质量未能达到加工要求，则提高所述叠孔率再次进行CO2激光加工。
5.如权利要求2所述的覆盖膜开口图案加工方法，其特征在于：所述填充路径为同心环路径、螺旋路径以及弓形路径中的至少一种。
6.如权利要求1所述的覆盖膜开口图案加工方法，其特征在于：根据所述厚度确定脉冲数的，所述脉冲数的大小与所述厚度呈正相关。
7.如权利要求1所述的覆盖膜开口图案加工方法，其特征在于：根据所述开口尺寸确定所述光圈直径，所述光圈直径的大小与所述开口尺寸的大小呈正相关。
8.如权利要求7所述的覆盖膜开口图案加工方法，其特征在于：所述光圈直径大于所述开口尺寸。
9.如权利要求1所述的覆盖膜开口图案加工方法，其特征在于：根据所述开口尺寸确定所述脉冲宽度，所述脉冲宽度的大小与所述开口尺寸的大小呈正相关。
10.如权利要求1所述的覆盖膜开口图案加工方法，其特征在于：所述脉冲数为1-10，所述脉冲宽度为1ms-15ms，所述光圈直径为0.3mm-5mm。
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