[发明专利]一种先进封装检测设备在审
申请号: | 202011291443.2 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN112366147A | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 崔永郁 | 申请(专利权)人: | 无锡帝科电子材料股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/67 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 214203 江苏省无锡市宜*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 先进 封装 检测 设备 | ||
1.一种先进封装检测设备,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的顶部固定安装有竖板(2),竖板(2)的一侧固定安装有电动推杆(3),电动推杆(3)的输出轴上固定安装有安装板(4),安装板(4)的底部固定安装有检测头(5),所述底座(1)上开设有腔体(15),腔体(15)的顶部开设有转动孔,转动孔内转动安装有转动柱(9),所述转动柱(9)的外侧设有转动轴(8),转动轴(8)的顶部固定安装有圆板(6),圆板(6)的顶部开设有多个插槽(7),多个插槽(7)的底部内壁上均开设有插孔(27),所述腔体(15)内转动安装有横杆(14),横杆(14)的一端固定安装有第一锥形齿轮(13),第一锥形齿轮(13)上啮合有第二锥形齿轮(12),第二锥形齿轮(12)固定套设于转动柱(9)的外侧,横杆(14)的另一端固定安装有棘轮(17),所述腔体(15)的一侧内壁上转动安装有转动块,转动块的一侧固定安装有圆形安装盒(18),棘轮(17)位于圆形安装盒(18)内,所述圆形安装盒(18)的内壁转动安装有棘齿(20),棘齿(20)与棘轮(17)相配合,棘齿(20)的一侧固定安装有弹簧的一端,弹簧的另一端与圆形安装盒(18)的内壁固定连接,圆形安装盒(18)的内壁固定安装有限位块,限位块的一侧与棘齿(20)的另一侧相接触,所述安装板(4)的底部固定安装有齿条(16),齿条(16)上啮合有第一齿轮(22)和第二齿轮(19),第二齿轮(19)固定套设于圆形安装盒(18)的外侧。
2.根据权利要求1所述的一种先进封装检测设备,其特征在于,所述转动轴(8)的底部开设有滑槽,转动柱(9)的外侧与滑槽的内壁滑动连接,滑槽的内壁开设有导向槽,导向槽内滑动安装有导向块,导向块的一侧与转动柱(9)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种先进封装检测设备,其特征在于,所述转动柱(9)的外侧开设有多个调节槽(10),转动轴(8)上螺纹安装有螺栓(11),螺栓(11)与对应的调节槽(10)螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种先进封装检测设备,其特征在于,所述竖板(2)的一侧固定安装有第一轴承,第一轴承的内圈固定安装有传动杆(21),第一齿轮(22)的一侧开设有圆槽,圆槽内设有传动棘轮,传动棘轮固定安装于传动杆(21)的一端,圆槽内转动安装有与传动棘轮相配合的传动棘齿。
5.根据权利要求4所述的一种先进封装检测设备,其特征在于,所述传动杆(21)的另一端固定安装有第一连杆(23)的一端,第一连杆(23)的另一端转动安装有第二连杆(24)的一端,第二连杆(24)的另一端转动安装有推动板(25),推动板(25)的顶部固定安装有推动杆(26)。
6.根据权利要求1所述的一种先进封装检测设备,其特征在于,所述底座(1)的顶部固定安装有固定板,固定板的顶部滑动安装有两个圆杆,两个圆杆的顶部均与推动板(25)的底部固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种先进封装检测设备,其特征在于,所述底座(1)的顶部固定安装有第二轴承,第二轴承的内圈与转动柱(9)的外侧固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种先进封装检测设备,其特征在于,所述腔体(15)的顶部内壁上固定安装有第三轴承,横杆(14)的外侧与第三轴承的内圈固定连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造