[发明专利]探针头连接方法在审
| 申请号： | 202011295154.X | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN114518472A | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 杨高山;林景立 | 申请（专利权）人： | 致茂电子（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/067;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 郭化雨 |
| 地址： | 215129 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 连接 方法 | ||
1.一种探针头连接方法，用于连接一探针头与一针测机，其特征在于，所述设备连接方法包含：
于该探针头与该针测机之间，设置一载板与一测试夹具，该测试夹具设置于该针测机中，且该测试夹具用以容置该载板；
启动该探针头的一吸真空功能；
移动该探针头以对位该测试夹具；
移动该探针头至接触该测试夹具中的该载板；以及
以至少一卡合件以固定该探针头与该测试夹具；
其中该载板用以直接对接一晶圆。
2.根据权利要求1所述的探针头连接方法，其特征在于，该测试夹具定义有一第一上表面，该第一上表面定义有一第一容置空间，该第一容置空间用以容置该载板。
3.根据权利要求2所述的探针头连接方法，其特征在于，该载板容置于该第一容置空间时，该载板与该第一上表面形成共平面。
4.根据权利要求2所述的探针头连接方法，其特征在于，更包含：
提供一测试夹具固定板可拆卸地锁固于该针测机，该测试夹具固定板的一第二上表面定义有一第二容置空间，该第二容置空间用以容置该测试夹具。
5.根据权利要求4所述的探针头连接方法，其特征在于，该第一上表面与该第二上表面不共平面。
6.根据权利要求4所述的探针头连接方法，其特征在于，该测试夹具可拆卸地锁固于该测试夹具固定板的该第二容置空间中。
7.根据权利要求2所述的探针头连接方法，其特征在于，该载板可拆卸地锁固于该第一容置空间中。
8.根据权利要求1所述的探针头连接方法，其中于移动该探针头以对位该测试夹具的步骤中，其特征在于，更包含：
提供一对位件，该对位件设置于该测试夹具，用以引导该探针头对准该测试夹具。
9.根据权利要求1所述的探针头连接方法，其特征在于，该探针头接触该载板的一上侧面，该测试夹具接触该载板的一下侧面。
10.根据权利要求9所述的探针头连接方法，其特征在于，该载板于该上侧面至少定义有一真空区，该真空区由一金属边条包围。
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