[发明专利]一种扩散一拖一自动上下料系统在审
| 申请号： | 202011297370.8 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112420571A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 林佳继;姚正辉;裴维维;马力;时祥;张峥水 | 申请（专利权）人： | 拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 一拖一 自动 上下 系统 | ||
1.一种扩散一拖一自动上下料系统，其特征在于：包括分合片和石英舟搬运机构(03)、石英舟输送机构(02)及导片机机构(01)组成，所述分合片和石英舟搬运机构(03)、石英舟输送机构(02)及导片机机构(01)沿长度方向依次排列设置。
2.根据权利要求1所述的一种扩散一拖一自动上下料系统，其特征在于：所述导片机机构(01)包括第一AGV来料对接输送线(11)、第一缓存输送线(12)、第一花篮升降装(13)置、第一硅片输送机构(14)、第一缓存模组(15)、第一接片模组(16)、第二缓存输送线(17)、第二接片模组(18)、第二缓存模组(19)、第二硅片输送装机构(110)、第二花篮升降装置(111)、横移输送线(112)、第三缓存输送线(113)、第四缓存输送线(114)、第二AGV来料对接输送线(115)。
3.根据权利要求2所述的一种扩散一拖一自动上下料系统，其特征在于：所述第一AGV来料对接输送线(11)与所述第二AGV来料对接输送线(115)相互平行设置，所述第一缓存输送线(12)、所述花篮升降装置、第一硅片输送机构(14)、第一缓存模组(15)及第一接片模组(16)分别设置在第一AGV来料对接输送线(11)上方，所述第二缓存输送线(17)、第二接片模组(18)、第二缓存模组(19)、第二硅片输送装机构(110)、第二花篮升降装置(111)、第三缓存输送线(113)、第四缓存输送线(114)均位于所述第二AGV来料对接输送线(115)上方，所述横移输送线(112)连通所述述第一AGV来料对接输送线(11)与所述第二AGV来料对接输送线(115)。
4.根据权利要求3所述的一种扩散一拖一自动上下料系统，其特征在于：所述分合片和石英舟搬运机构(03)由硅片翻转搬运装置(31)、第一花篮定位移动机构(32)、第一花篮硅片顶升机构(33)、硅片规整机构(34)、第一石英舟托切换装置(35)、石英舟托输送机构(36)、石英舟翻转搬运机构(37)、吸盘横移装置(38)、石英舟定位移动机构(39)、吸盘升降装置(310)、石英舟硅片顶升装置(311)。
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