[发明专利]一种扩散一拖一自动上下料系统在审
申请号: | 202011297370.8 | 申请日: | 2020-11-19 |
公开(公告)号: | CN112420571A | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 林佳继;姚正辉;裴维维;马力;时祥;张峥水 | 申请(专利权)人: | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 一拖一 自动 上下 系统 | ||
本发明涉及光伏组件生产设备技术领域,具体涉及一种扩散一拖一自动上下料系统,旨在解决现有技术中自动化程度低形成的问题,其技术要点在于:包括分合片和石英舟搬运机构、石英舟输送机构及导片机机构组成,所述分合片和石英舟搬运机构、石英舟输送机构及导片机机构沿长度方向依次排列设置。实现了高度自动化。
技术领域
本发明涉及光伏组件生产设备技术领域,具体涉及一种扩散一拖一自动上下料系统。
背景技术
随着全球能源短缺和环境污染等问题日益突出,太阳能作为可再生的环保能源已经越来越受到人们的关注。在电池行业中,最没有污染、市场空间最大的应该是太阳能电池,太阳能电池的研究与开发越来越受到世界各国的广泛重视,国内外很多大公司相继投入到太阳能电池的研发和生产中。太阳能光伏产业的迅猛发展,使得对电池硅片的性能要求也越来越高。传统的硅片上下料采用的是人工上下料方式,容易造成硅片的污染,增加硅片碎片率,效率低下。
近年来随着光伏产业发展,自动化设备在太阳能电池片生产线上得到广泛的运用。在工艺设备产能不断增长的背景下,对光伏自动化设备的产能要求也越来越高。
发明内容
因此,本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中自动化程度低形成的缺陷,从而提供一种扩散一拖一自动上下料系统。
本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种扩散一拖一自动上下料系统,其特征在于:包括分合片和石英舟搬运机构、石英舟输送机构及导片机机构组成,所述分合片和石英舟搬运机构、石英舟输送机构及导片机机构沿长度方向依次排列设置。
优选的,所述导片机机构包括第一AGV来料对接输送线、第一缓存输送线、第一花篮升降装置、第一硅片输送机构、第一缓存模组、第一接片模组、第二缓存输送线、第二接片模组、第二缓存模组、第二硅片输送装机构、第二花篮升降装置、横移输送线、第三缓存输送线、第四缓存输送线、第二AGV来料对接输送线。
优选的,所述第一AGV来料对接输送线与所述第二AGV来料对接输送线相互平行设置,所述第一缓存输送线、所述花篮升降装置、第一硅片输送机构、第一缓存模组及第一接片模组分别设置在第一AGV来料对接输送线上方,所述第二缓存输送线、第二接片模组、第二缓存模组、第二硅片输送装机构、第二花篮升降装置、第三缓存输送线、第四缓存输送线均位于所述第二AGV来料对接输送线上方,所述横移输送线连通所述述第一AGV来料对接输送线与所述第二AGV来料对接输送线。
优选的,所述分合片和石英舟搬运机构由硅片翻转搬运装置、第一花篮定位移动机构、第一花篮硅片顶升机构、硅片规整机构、第一石英舟托切换装置、石英舟托输送机构、石英舟翻转搬运机构、吸盘横移装置、石英舟定位移动机构、吸盘升降装置、石英舟硅片顶升装置。
本申请所提供的一种扩散一拖一自动上下料系统,通过依次排列设置的分合片和石英舟搬运机构、石英舟输送机构及导片机机构,实现了高度自动化。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的一种实施方式的扩散一拖一自动上下料系统的整体结构示意图;
图2为本发明的一种实施方式的扩散一拖一自动上下料系统的导片机机构示意图;
图3为本发明一实施方式中扩散一拖一自动上下料系统的分合片和石英舟搬运机构的结构示意图。
附图标记说明:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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