[发明专利]一种用于半导体晶圆光刻显影蚀刻的设备

权利要求书

1.一种用于半导体晶圆光刻显影蚀刻的设备，包括设备外箱（1），其特征在于：所述设备外箱（1）内腔的底部设置有导向机构（2），所述导向机构（2）的顶部设置有复位机构（3），所述复位机构（3）的顶部设置有放置台（5），所述设备外箱（1）内腔右侧底部固定安装有驱动装置（4），所述设备外箱（1）的左侧活动安装有闭合门（6），所述设备外箱（1）内腔的顶部设置有下压机构（7），所述下压机构（7）的底部设置有调整机构（8），所述调整机构（8）的底部活动安装有遮光物本体（9），所述闭合门（6）右侧的顶部固定安装有紫外线光照装置（12），所述设备外箱（1）顶部的左侧贯穿设置有输液机构（11）；

所述下压机构（7）包括固定安装在设备外箱（1）内腔顶部的推动气缸（71），所述推动气缸（71）的活塞杆底部固定安装有下压板（72）；

所述调整机构（8）包括焊接在下压板（72）底部右侧的安装架（81），所述安装架（81）的左侧设置有与其转动连接的电动伸缩杆（82），所述下压板（72）底部固定连接有位于安装架（81）左侧的固定架一（83），所述固定架一（83）的底部转动连接有L形活动架（84），所述L形活动架（84）的左端为自上向下自右向左倾斜的斜面，所述L形活动架（84）的右侧固定连接有固定架二（85），所述电动伸缩杆（82）的输出端与固定架二（85）转动连接；

所述L形活动架（84）的底部焊接有固定架三（86），所述固定架三（86）的内腔转动连接有安装块（87），所述遮光物本体（9）与安装块（87）螺纹连接；

所述导向机构（2）包括焊接在设备外箱（1）底部内壁上的导向轨（21），所述导向轨（21）内腔的两侧均开设有长圆孔，所述导向轨（21）的内腔滑动连接有滑动块（22），所述滑动块（22）的两侧分别固定连接有与两长圆孔滑动配合的滑动销（23）；

所述复位机构（3）包括焊接在滑动块（22）顶部的承托块（31），所述承托块（31）的右侧与驱动装置（4）的输出端固定连接，所述承托块（31）的顶部开设有凹槽（33），所述凹槽（33）内腔的左侧转动连接有转动块（32），所述凹槽（33）内腔的右侧固定连接有弹簧（34）；

所述放置台（5）包括放置板（51），所述放置板（51）的左端设置有与其一体成型的转动凸块（52），所述转动凸块（52）与闭合门（6）转动连接，所述弹簧（34）和转动块（32）分别与放置板（51）固定连接，所述放置板（51）的顶部周边开设有环形集液槽（53），所述环形集液槽（53）中前后两侧的左端分别开设有排液孔（54），所述排液孔（54）的底部安装有位于放置板（51）底部的密封塞（55）。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆光刻显影蚀刻的设备，其特征在于：所述输液机构（11）包括贯穿设置在设备外箱（1）顶部的输液管（111），所述输液管（111）位于设备外箱（1）内腔的一端固定安装有喷洒头（112），所述喷洒头（112）贯穿安装在下压板（72）上。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体晶圆光刻显影蚀刻的设备，其特征在于：所述闭合门（6）的左侧焊接有把手（10）。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体晶圆光刻显影蚀刻的设备，其特征在于：其使用步骤如下：

㈠、使用者手持把手（10），通过把手（10）控制闭合门（6）保持垂直状态；

㈡、启动驱动装置（4），驱动装置（4）推动复位机构（3）向左侧移动，复位机构（3）带动放置台（5）向左侧移动，使闭合门（6）保持垂直状态向左侧移动，复位机构（3）移动的过程中带动滑动块（22）在导向轨（21）的内腔滑动，同时滑动销（23）会在导向轨（21）上的长圆孔内滑动，保证复位机构（3）平稳移动，这一过程中，使用者继续手持把手（10）保证闭合门（6）保持垂直状态；

㈢、当闭合门（6）移出设备外箱（1）后，使用者手持把手（10）将闭合门（6）向左侧转动，然后将用于制作芯片的硅晶片放置于放置板（51）的中心处；

㈣、使用者通过把手（10）将闭合门（6）旋转至垂直状态，然后再次启动驱动装置（4），驱动装置（4）将放置台（5）拉回原位，完成准备工作；

㈤、启动推动气缸（71），推动气缸（71）带动下压板（72）和遮光物本体（9）下移，使遮光物本体（9）覆盖在硅晶片上，硅晶片上涂有光致抗蚀剂，然后开启紫外线光照装置（12）对硅晶片进行照射；

㈥、启动电动伸缩杆（82），电动伸缩杆（82）推动L形活动架（84）和固定架三（86）转动，使L形活动架（84）的左端斜面与下压板（72）的底部接触并形成三角支撑结构，遮光物本体（9）在自身重力的作用下始终保持垂直状态；

㈦、冲洗溶剂通过输液管（111）进入到设备外箱（1）的内腔，然后通过喷洒头（112）喷洒至放置板（51）的表面，对被紫外光溶解的光致抗蚀剂进行冲洗，冲洗溶剂和光致抗蚀剂进入到环形集液槽（53）内；

㈧、当工作完成后，驱动装置（4）向左推动放置台（5），使用者手持把手（10）将闭合门（6）向左旋转打开，当闭合门（6）的右端接触到放置台（5）的左端底部后，放置台（5）会相对于转动块（32）的轴线翻转，放置台（5）左端下压、右端克服弹簧（34）的弹力向上翘起，将密封塞（55）取出，环形集液槽（53）内的冲洗溶剂和光致抗蚀剂通过排液孔（54）排出。