[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

承载台，包括主体部、升降部和由所述主体部围合形成的中空部，所述主体部具有承载面，所述主体部包括沿第一方向相对设置的两个第一侧部和沿第二方向相对设置的两个第二侧部，掩模框架被支撑于所述第一侧部和所述第二侧部；

所述升降部在垂直于所述承载面的方向上可伸缩地设于两个所述第一侧部和/或两个所述第二侧部，所述升降部包括多个升降块，多个所述升降块在所述第一侧部上沿所述第一方向和所述第二方向成行成列分布，多个所述升降块在所述第二侧部上沿所述第一方向和所述第二方向成行成列分布；

掩模组件，设置于所述承载台，所述掩模组件包括所述掩模框架和连接于所述掩模框架的掩模板，所述掩模板由所述中空部露出，所述掩模框架设置于所述承载面，以通过所述升降部的升降能够调节所述掩模框架与所述承载面的相对位置。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，相邻两个所述升降块之间的间距为1.5mm～5mm。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：

检测部件，用于检测蒸镀形成的显示面板上蒸镀像素和实际位置和预设位置之间的位置偏差；

驱动装置，用于根据所述位置偏差调节所述升降块的升降。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述驱动装置用于驱动所述升降块以1μm/次～2μm/次的速率进行升降。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述升降块在所述承载面所在平面的正投影形状为圆形、椭圆形和多边形及其组合中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述主体部具有朝向所述中空部的侧边缘，所述升降块距离所述侧边缘的最小距离大于或等于2mm。

7.一种显示面板的蒸镀方法，其特征在于，包括：

提供一种待蒸镀基板，所述待蒸镀基板包括蒸镀区域；

将掩模组件设置于承载台，所述承载台包括主体部、升降部和由所述主体部围合形成的中空部，所述主体部具有承载面，所述主体部包括沿第一方向相对设置的两个第一侧部和沿第二方向相对设置的两个第二侧部，掩模框架被支撑于所述第一侧部和所述第二侧部，所述升降部在垂直于所述承载面的方向上可伸缩地设于所述主体部，所述升降部包括多个升降块，多个所述升降块在两个所述第一侧部和/或两个所述第二侧部呈多行多列分布；所述掩模组件包括所述掩模框架和连接于所述掩模框架的掩模板，所述掩模框架位于所述承载面，所述掩模板由所述中空部露出；

将带有所述掩模组件的所述承载台与所述待蒸镀基板对位，令所述掩模板与所述蒸镀区域相对应；

调整所述升降部伸出于所述承载面的高度，以使所述掩模板在所述待蒸镀基板上的正投影覆盖所述蒸镀区域；

将蒸镀材料由掩模开口蒸镀于所述蒸镀区域形成所述显示面板。

8.根据权利要求7所述的显示面板的蒸镀方法，其特征在于，还包括：

获取所述显示面板上所述蒸镀材料形成的蒸镀像素的实际位置与预设位置之间的位置偏差；

根据所述位置偏差调节所述升降部伸出于所述承载面的高度。

9.根据权利要求8所述的显示面板的蒸镀方法，其特征在于，所述根据所述位置偏差调节所述升降部伸出于所述承载面的高度的步骤中：

调节位于存在所述位置偏差的蒸镀像素外周侧的至少部分升降块伸出所述承载面的高度。

10.根据权利要求9所述的显示面板的蒸镀方法，其特征在于，多个所述升降块呈多排分布，多排所述升降块包括沿远离所述中空部间隔分布的第一排和第二排，所述蒸镀区域包括中心区域和位于所述中心区域周侧的外围区域；

所述根据所述位置偏差调节所述升降部的步骤包括：

当所述外围区域内所述实际位置相对所述预设位置远离所述中心区域时，升高至少部分所述第二排内的升降块和/或降低至少部分所述第一排内的升降块；

当所述外围区域内所述实际位置相对所述预设位置靠近所述中心区域时，升高至少部分所述第一排内的升降块和/或降低至少部分所述第二排内的升降块。