[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法

说明书

本发明实施例提供一种蒸镀装置及蒸镀方法，蒸镀装置包括：承载台，包括主体部、升降部和由主体部围合形成的中空部，主体部具有承载面，升降部在垂直于承载面的方向上可伸缩地设于主体部；掩模组件，设置于承载台，掩模组件包括掩模框架和连接于掩模框架的掩模板，掩模板由中空部露出，掩模框架设置于承载面，以通过升降部的升降能够调节掩模框架与承载面的相对位置。在本发明实施例提供的蒸镀装置中，可以调节掩模板和待蒸镀基板的相对位置，提高掩模板和待蒸镀基板的对位精度，进而提高蒸镀精度。

技术领域

本发明涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode；OLED)是主动发光器件。与传统的液晶显示(Liquid Crystal Display；LCD)显示方式相比， OLED显示技术无需背光灯，具有自发光的特性。OLED采用较薄的有机材料膜层和玻璃基板，当有电流通过时，有机材料就会发光。因此OLED 显示面板能够显著节省电能，可以做得更轻更薄，比LCD显示面板耐受更宽范围的温度变化，而且可视角度更大。OLED显示面板有望成为继 LCD之后的下一代平板显示技术，是目前平板显示技术中受到关注最多的技术之一。

目前OLED显示面板的像素是通过蒸镀的方法制备，即将有机材料通过高温升华，透过精密型金属掩模板(Fine Metal Mask，FMM)沉积在待蒸镀基板上，实现手机屏的发光显示。在蒸镀过程中，像素点位精度 (Pixel Position Accuracy；PPA)是非常重要的一个参数，PPA越小则显示颜色越精确，显示效果越好。

但是目前蒸镀过程中，由于蒸镀掩模板和显示面板对位不精准，导致蒸镀的PPA偏斜，严重影响显示屏的良率。

因此亟需一种新的蒸镀装置及蒸镀方法。

发明内容

本发明实施例提供一种蒸镀装置及蒸镀方法，旨在提高蒸镀精度。

本发明第一方面实施例提供了一种蒸镀装置，包括：承载台，包括主体部、升降部和由主体部围合形成的中空部，主体部具有承载面，升降部在垂直于承载面的方向上可伸缩地设于主体部；掩模组件，设置于承载台，掩模组件包括掩模框架和连接于掩模框架的掩模板，掩模板由中空部露出，掩模框架设置于承载面，以通过升降部的升降能够调节掩模框架与承载面的相对位置。

根据本发明第一方面的实施方式，升降部包括多个升降块，多个升降块在主体部间隔分布。

根据本发明第一方面前述任一实施方式，相邻两个升降块之间的间距为1.5mm～5mm。

根据本发明第一方面前述任一实施方式，主体部包括沿第一方向相对设置的两个第一侧部和沿第二方向相对设置的两个第二侧部，掩模框架被支撑于第一侧部和第二侧部；

升降部设置于两个第一侧部和/或两个第二侧部。

根据本发明第一方面前述任一实施方式，第一侧部和第二侧部上均设置有多个升降块，且多个升降块在第一侧部上沿第一方向和第二方向成行成列分布，多个升降块在第二侧部上沿第一方向和第二方向成行成列分布。

根据本发明第一方面前述任一实施方式，还包括：

检测部件，用于检测蒸镀形成的显示面板上蒸镀像素和实际位置和预设位置之间的位置偏差；

驱动装置，用于根据位置偏差调节升降块的升降。

根据本发明第一方面前述任一实施方式，驱动装置用于驱动升降块以 1μm/次～2μm/次的速率进行升降。

根据本发明第一方面前述任一实施方式，升降块在承载面所在平面的正投影形状为圆形、椭圆形和多边形及其组合中的至少一种。