[发明专利]高功率/能量激光测量系统及其杂光抑制方法有效
申请号: | 202011305782.1 | 申请日: | 2020-11-19 |
公开(公告)号: | CN112539832B | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 达争尚;袁索超;董晓娜;李红光;高立民;段亚轩;陈永权 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42;G01J1/04 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 王凯敏 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 功率 能量 激光 测量 系统 及其 抑制 方法 | ||
1.高功率/能量激光测量系统,包括依次设置在入射的高功率/能量激光(1)光路上的取样衰减单元(2)、光学探测通道(3);所述取样衰减单元(2)用于实现被测高功率/能量激光(1)的取样及衰减;所述光学探测通道(3)用于实现所述高功率/能量激光(1)的参数测量;在所述光学探测通道(3)上设置有探测靶面(5);
其特征在于:
所述探测靶面(5)的至少一个光学共轭位置处设置有杂光吸收体(8);
还包括焦面小孔(4)和剩余光吸收体(6);
所述焦面小孔(4)设置在所述光学探测通道(3)的焦面上;
所述剩余光吸收体(6)用于吸收经取样衰减单元(2)衰减后的剩余光。
2.根据权利要求1所述的高功率/能量激光测量系统,其特征在于:所述探测靶面(5)的所有光学共轭位置处均设置有杂光吸收体(8)。
3.根据权利要求1或2所述的高功率/能量激光测量系统,其特征在于:所述杂光吸收体(8)为吸收玻璃,吸收玻璃的材质根据待吸收的激光波长选用,吸收玻璃的厚度根据系统所需杂光吸收量确定。
4.根据权利要求3所述的高功率/能量激光测量系统,其特征在于:所述杂光吸收体(8)的表面做毛化处理。
5.高功率/能量激光测量系统的杂光抑制方法,所述高功率/能量激光测量系统包括依次设置在入射的高功率/能量激光(1)光路上的取样衰减单元(2)和光学探测通道(3);所述取样衰减单元(2)用于实现被测高功率/能量激光(1)的取样及衰减;所述光学探测通道(3)用于实现所述高功率/能量激光(1)的参数测量;在所述光学探测通道(3)上设置有探测靶面(5);
其特征在于,所述杂光抑制方法为:
在所述探测靶面(5)的至少一个光学共轭位置处设置有杂光吸收体(8);
在所述光学探测通道(3)的焦面上设置焦面小孔(4)和在高功率/能量激光测量系统的取样衰减单元(2)附近设置用于吸收经取样衰减单元(2)衰减后的剩余光的剩余光吸收体(6)。
6.根据权利要求5所述的高功率/能量激光测量系统的杂光抑制方法,其特征在于:在所述探测靶面(5)的所有光学共轭位置处均设置有杂光吸收体(8)。
7.根据权利要求6所述的高功率/能量激光测量系统的杂光抑制方法,其特征在于:对所述杂光吸收体(8)的表面做毛化处理。
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