[发明专利]一种储片盒传输装置在审
申请号: | 202011311690.4 | 申请日: | 2020-11-20 |
公开(公告)号: | CN112382597A | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 潘忠怀 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创集成电路装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/673;B65H5/04 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 101312 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 储片盒 传输 装置 | ||
1.一种储片盒传输装置,其特征在于,包括承载板、承载板传输组件和至少两个储片盒固定组件,其中,
所述承载板包括用于承载所述储片盒的承载面,所述承载面设置有导向柱,用于实现对承载于所述承载面的所述储片盒进行定位;
所述承载板传输组件与所述承载板固定连接,用于驱动所述承载板沿传输方向移动;
至少两个所述储片盒固定组件沿所述传输方向分布在所述承载板的两侧,且均与所述承载板固定连接,每个所述储片盒固定组件用于在传输所述储片盒时,将所述储片盒固定在所述承载板的承载面上。
2.根据权利要求1所述的储片盒传输装置,其特征在于,所述储片盒固定组件包括伸缩机构和压盒结构,所述伸缩机构固定设置在所述承载板的底面上,所述伸缩机构用于驱动所述压盒结构靠近或远离所述承载板,所述压盒结构具有压盒接触面,且所述压盒接触面在所述压盒结构靠近所述承载板时与承载于所述承载板的所述储片盒底板表面接触固定。
3.根据权利要求2所述的储片盒传输装置,其特征在于,所述压盒结构包括压盒弯板和压盒安装块,所述压盒弯板包括相互连接的竖直部和弯折部,所述伸缩机构与所述竖直部连接,所述压盒安装块设置在所述弯折部上,所述压盒安装块上设置有所述压盒接触面。
4.根据权利要求3所述的储片盒传输装置,其特征在于,所述压盒结构还包括沉头固定螺钉,所述压盒安装块上形成有沿高度方向贯穿所述压盒安装块的沉头孔,所述压盒弯板的弯折部上形成有固定螺纹孔,所述沉头固定螺钉依次穿过所述沉头孔和所述固定螺纹孔中以将所述压盒弯板与压盒安装块固定连接,且所述沉头固定螺钉的头部位于所述沉头孔中。
5.根据权利要求3所述的储片盒传输装置,其特征在于,所述压盒安装块的材质包括聚四氟乙烯。
6.根据权利要求2至5中任意一项所述的储片盒传输装置,其特征在于,所述伸缩机构包括伸缩驱动部和辅助固定调节板,所述伸缩驱动部用于驱动所述压盒结构移动,所述伸缩驱动部通过所述辅助固定调节板与所述承载板连接。
7.根据权利要求6所述的储片盒传输装置,其特征在于,所述储片盒固定组件包括多个第一定位螺钉,所述承载板上形成有多个沿厚度方向贯穿所述承载板的第一定位安装孔,所述辅助固定调节板上形成有多个沿同一直线排布的第一定位螺纹孔,所述第一定位安装孔的横截面为沿所述承载板边缘方向延伸的长条形,多个所述第一定位螺钉依次穿过所述第一定位安装孔和所述第一定位螺纹孔,所述第一定位螺钉能够在所述第一定位安装孔中沿所述第一定位安装孔的延伸方向滑动,且所述第一定位螺钉拧紧在所述第一定位螺纹孔中时能够将所述承载板与所述辅助固定调节板固定连接。
8.根据权利要求7所述的储片盒传输装置,其特征在于,所述储片盒固定组件包括多个第二定位螺钉,所述辅助固定调节板上形成有多个沿厚度方向贯穿所述辅助固定调节板的第二定位安装孔,所述伸缩驱动部具有多个沿同一直线排布的第二定位螺纹孔,所述第二定位安装孔的横截面为沿对应的压盒结构的运动方向延伸的长条形,多个所述第二定位螺钉依次穿过所述第二定位安装孔和所述第二定位螺纹孔,所述第二定位螺钉能够在所述第二定位安装孔中沿所述第二定位安装孔的延伸方向滑动,且所述第二定位螺钉拧紧在所述第二定位螺纹孔中时能够将所述伸缩驱动部与所述辅助固定调节板固定连接。
9.根据权利要求6所述的储片盒传输装置,其特征在于,所述承载板的底部形成有调节板安装槽,所述辅助固定调节板匹配设置在所述调节板安装槽中。
10.根据权利要求1至5中任意一项的该储片盒传输装置,其特征在于,所述储片盒固定组件的数量为两个,且两个所述储片盒固定组件固定设置于所述承载板在所述传输方向两侧的边缘的中间位置。
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