[发明专利]一种储片盒传输装置

说明书

本发明提供一种储片盒传输装置，包括承载板、承载板传输组件和至少两个储片盒固定组件，承载板包括用于承载储片盒的承载面，承载面设置有导向柱，用于实现对承载于承载面的储片盒进行定位；承载板传输组件与承载板固定连接，用于驱动承载板沿传输方向移动；至少两个储片盒固定组件沿传输方向分布在承载板的两侧，且均与承载板固定连接，每个储片盒固定组件用于在传输储片盒时，将储片盒固定在承载板的承载面上。在本发明中，储片盒固定组件能够将储片盒固定在承载板的承载面上，从而在承载板带动储片盒沿传输方向移动时防止储片盒在传输过程中发生晃动，保证晶片的位置精度，提高产品良率。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种储片盒传输装置。

背景技术

在半导体工艺中，常通过储片盒(Foup盒)装载成批次的晶片进出半导体设备(如，氧化炉)，为便于在清洁环境下对储片盒中的晶片(Wafer)进行取、放操作，半导体设备的前端部通常设置有用于临时放置储片盒的小型仓储(Mini Stocker)模块，该小型仓储模块能够自动对其内部放置的储片盒进行运输、定位操作、储片盒舱门的开启、关闭操作以及晶片取放等操作，与人工操作取放晶片相比，其晶片放置精度更高，且能够避免在操作过程中向工艺腔室引入额外的杂质。

然而，现有半导体设备中的小型仓储模块在储片盒运输过程中，由于储片盒发生晃动，会导致储片盒装载的晶片位置发生变化，进而由于晶片出现位置偏差，向工艺腔室中放置晶片时，废品率较高。因此，如何提供一种能够提高晶片位置的控制精度的储片盒传输装置，成为本领域亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明旨在提供一种储片盒传输装置，该储片盒传输装置能够提高晶片在储片盒中的位置精度。

为实现上述目的，本发明提供一种储片盒传输装置，包括承载板、承载板传输组件和至少两个储片盒固定组件，其中，

所述承载板包括用于承载所述储片盒的承载面，所述承载面设置有导向柱，用于实现对承载于所述承载面的所述储片盒进行定位；

所述承载板传输组件与所述承载板固定连接，用于驱动所述承载板沿传输方向移动；

至少两个所述储片盒固定组件沿所述传输方向分布在所述承载板的两侧，且均与所述承载板固定连接，每个所述储片盒固定组件用于在传输所述储片盒时，将所述储片盒固定在所述承载板的承载面上。

可选地，所述储片盒固定组件包括伸缩机构和压盒结构，所述伸缩机构固定设置在所述承载板的底面上，所述伸缩机构用于驱动所述压盒结构靠近或远离所述承载板，所述压盒结构具有压盒接触面，且所述压盒接触面在所述压盒结构靠近所述承载板时与承载于所述承载板的所述储片盒底板表面接触固定。

可选地，所述压盒结构包括压盒弯板和压盒安装块，所述压盒弯板包括相互连接的竖直部和弯折部，所述伸缩机构与所述竖直部连接，所述压盒安装块设置在所述弯折部上，所述压盒安装块上设置有所述压盒接触面。

可选地，所述压盒结构还包括沉头固定螺钉，所述压盒安装块上形成有沿高度方向贯穿所述压盒安装块的沉头孔，所述压盒弯板的弯折部上形成有固定螺纹孔，所述沉头固定螺钉依次穿过所述沉头孔和所述固定螺纹孔中以将所述压盒弯板与压盒安装块固定连接，且所述沉头固定螺钉的头部位于所述沉头孔中。

可选地，所述压盒安装块的材质包括聚四氟乙烯。

可选地，所述伸缩机构包括伸缩驱动部和辅助固定调节板，所述伸缩驱动部用于驱动所述压盒结构移动，所述伸缩驱动部通过所述辅助固定调节板与所述承载板连接。