[发明专利]一种用于高能微焦点X射线的旋转靶在审

专利信息
申请号: 202011319588.9 申请日: 2020-11-23
公开(公告)号: CN112333908A 公开(公告)日: 2021-02-05
发明(设计)人: 刘宇;王建新;肖德鑫;李鹏;胡栋材;周征;吴岱;黎明;杨兴繁;王远;王孝忠;赵剑衡;陈门雪;鲁燕华;王汉斌;单李军;沈旭明;和天慧;徐勇;周奎;劳成龙;罗星;白燕;闫陇刚;邓德荣;陈立均;刘婕;张德敏;潘清;柏伟;陈亚男;邓仕钰;李文君;宋志大;张成鑫;刘清华;李敬;李寿涛;李世根;程云;蒲晓媛;涂国锋;蔡哲;陈云斌;力涛;石正军;罗为;刘春林;张小丽;张冬;余虹;丁玉寿;李雷 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
主分类号: H05G2/00 分类号: H05G2/00;G01N23/046
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 于晶晶
地址: 621900 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 高能 焦点 射线 旋转
【权利要求书】:

1.一种用于高能微焦点X射线的旋转靶,其特征在于,包括用于分散电子束打靶能量的旋转靶和用于测量电子束束斑大小的束斑测量组件,所述旋转靶和束斑测量组件均可相对移动,使电子束在旋转靶和束斑测量组件的同一位置上形成的束斑。

2.根据权利要求1所述的一种用于高能微焦点X射线的旋转靶,其特征在于,所述束斑测量组件包括用于形成束斑的束斑测量靶、用于测量束斑大小的测量组件以及用于限定束斑测量靶位置的垂直移动组件,所述束斑测量靶和所述测量组件固定于所述垂直移动组件下方。

3.根据权利要求2所述的一种用于高能微焦点X射线的旋转靶,其特征在于,所述垂直移动组件为垂直锁紧气缸,所述垂直锁紧气缸的伸缩杆端部固定连接有束斑测量靶。

4.根据权利要求2所述的一种用于高能微焦点X射线的旋转靶,其特征在于,所述垂直移动组件为带有限位卡套的手动杆,所述限位卡套在手动杆提升时卡接到手动杆上,所述手动杆端部固定连接有束斑测量靶。

5.根据权利要求2所述的一种用于高能微焦点X射线的旋转靶,其特征在于,所述测量组件包括反射镜和成像相机,所述反射镜与所述束斑测量靶呈45度夹角,所述成像相机与所述反射镜呈45度夹角,所述成像相机与所述束斑测量靶垂直。

6.根据权利要求2所述的一种用于高能微焦点X射线的旋转靶,其特征在于,所述束斑测量靶为YAG靶。

7.根据权利要求1所述的一种用于高能微焦点X射线的旋转靶,其特征在于,所述旋转靶包括被电子束轰击生成X射线的靶盘、用于使靶盘前后移动的水平移动组件和用于使靶盘旋转的旋转组件,所述靶盘的靶心固定于旋转组件输出轴上,所述旋转组件固定于水平移动组件上。

8.根据权利要求7所述的一种用于高能微焦点X射线的旋转靶,其特征在于,所述水平移动组件为水平锁紧气缸,所述水平锁紧气缸的伸缩杆端部固定连接有旋转组件。

9.根据权利要求7所述的一种用于高能微焦点X射线的旋转靶,其特征在于,所述水平移动组件为带有限位块的滑块和滑轨。

10.根据权利要求7所述的一种用于高能微焦点X射线的旋转靶,其特征在于,所述靶盘为高原子序数靶。

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