[发明专利]一种用于高能微焦点X射线的旋转靶

说明书

本发明公开一种用于高能微焦点X射线的旋转靶，包括用于分散电子束打靶能量的旋转靶和用于测量电子束束斑大小的束斑测量组件，所述旋转靶和束斑测量组件均可相对移动，使电子束在旋转靶和束斑测量组件的同一位置上形成的束斑。本申请通过提供一种可旋转的靶盘，分散电子束轰击靶盘的能量，通过在打靶前设置束斑测量靶以及移动机构，确保打到旋转靶上的电子束束斑分布尺寸可精确测量与控制，从而实现产生高能微焦点X射线的目的。

技术领域

本发明属于放射装置技术领域，具体地说涉及一种用于高能微焦点X射线的旋转靶。

背景技术

计算机断层成像技术(Computed Tomography，CT)是公认的最佳检测手段，广泛应用于无损检测、逆向工程、材料组织分析等领域。CT是通过对物体进行不同角度的射线成像，通过滤波反投影技术获取物体横截面信息的成像技术。CT技术可以采用不同的粒子束，如X射线、伽马射线、中子等。高能工业CT系统采用MeV级加速器作为X射线源，穿透能力强，特别适用于大型装备的检测。高能(能量1～9MeV)微焦点(直径0.05～0.4mm)的高峰值功率电子束打靶转产生X射线的装置，X射线源焦点尺寸小，能量高，在既能满足大型装备或金属元件穿透能力的要求，又能提高图像的分辨率，有利于细小缺陷的检测。但现有X射线转换靶存在以下技术问题：大功率高能电子束聚焦到比较小尺寸，在X射线转换靶上局部瞬时功率过高，会造成转换靶材料的融化；要获得比较小的电子束尺寸，需要用聚焦磁铁将电子束聚焦在X射线转换靶上，在调试过程中，需要精确测量打靶点位置的电子束尺寸，现有的高能X射线转换靶无法实现这一功能。

因此，现有技术还有待于进一步发展和改进。

发明内容

针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种用于高能微焦点X射线的旋转靶。本发明提供如下技术方案：

一种用于高能微焦点X射线的旋转靶，包括用于分散电子束打靶能量的旋转靶和用于测量电子束束斑大小的束斑测量组件，所述旋转靶和束斑测量组件均可相对移动，使电子束在旋转靶和束斑测量组件的同一位置上形成的束斑。

进一步的，所述束斑测量组件包括用于形成束斑的束斑测量靶、用于测量束斑大小的测量组件以及用于限定束斑测量靶位置的垂直移动组件，所述束斑测量靶和所述测量组件固定于所述垂直移动组件下方。

进一步的，所述垂直移动组件为垂直锁紧气缸，所述垂直锁紧气缸的伸缩杆端部固定连接有束斑测量靶。

进一步的，所述垂直移动组件为带有限位卡套的手动杆，所述限位卡套在手动杆提升时卡接到手动杆上，所述手动杆端部固定连接有束斑测量靶。

进一步的，所述测量组件包括反射镜和成像相机，所述反射镜与所述束斑测量靶呈45度夹角，所述成像相机与所述反射镜呈45度夹角，所述成像相机与所述束斑测量靶垂直。

进一步的，所述束斑测量靶为YAG靶。

进一步的，所述旋转靶包括被电子束轰击生成X射线的靶盘、用于使靶盘前后移动的水平移动组件和用于使靶盘旋转的旋转组件，所述靶盘的靶心固定于旋转组件输出轴上，所述旋转组件固定于水平移动组件上。

进一步的，所述水平移动组件为水平锁紧气缸，所述水平锁紧气缸的伸缩杆端部固定连接有旋转组件。

进一步的，所述水平移动组件为带有限位块的滑块和滑轨。

进一步的，所述靶盘为高原子序数靶。

有益效果：

本申请通过提供一种可旋转的靶盘，分散电子束轰击靶盘的能量，通过在打靶前设置束斑测量靶以及移动机构，确保打到旋转靶上的电子束束斑分布尺寸可精确测量与控制，从而实现产生高能微焦点X射线的目的。

附图说明