[发明专利]一种非金属材料的提纯方法有效
申请号: | 202011325625.7 | 申请日: | 2020-11-24 |
公开(公告)号: | CN112408345B | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 王书杰;孙聂枫;刘惠生;孙同年;徐森锋;史艳磊;邵会民;付莉杰;姜剑;王阳;李晓岚 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所;中国电子科技南湖研究院 |
主分类号: | C01B25/04 | 分类号: | C01B25/04;C01B17/033;C22B30/04;C30B29/40;C30B29/44;C30B11/06;C30B15/02 |
代理公司: | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人: | 聂旭中 |
地址: | 050000 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 非金属材料 提纯 方法 | ||
1.一种非金属材料的提纯方法,所述非金属材料为易挥发性材料,其特征在于,包括以下步骤:将气化的非金属材料在高压环境下注入到金属熔体中;降低环境压力,收集从金属熔体中溢出气泡中的非金属材料,从而得到提纯后的非金属材料,具体步骤为:
步骤A、将金属置于密闭容器中,抽真空至10-5Pa;
步骤B、密闭容器中充入惰性气体,使密闭容器内的压力高于设计压力;
步骤C、加热金属至设计温度,金属熔化后形成金属熔体;
步骤D、加热非金属材料至气化;
步骤E、将气化的非金属材料注入到金属熔体内;
步骤F、停止对金属的加热;
步骤G、在保持密闭容器温度的同时,降低密闭容器的压力,同时收集挥发出的气泡;
步骤H、收集挥发出的气泡,直至气泡消失;
所述设计温度为T+m,T为该金属与被提纯非金属材料形成的二元化合物的熔点,m的取值范围为10~200K;
所述设计压力为设计温度下,所述金属与非金属形成I%熔体体系的饱和蒸气压;
步骤G中,密闭容器的压力降至所述金属与非金属形成Q%熔体体系的饱和蒸气压;
QI;
所述非金属材料为制作半导体晶体的易挥发性材料,所述金属为III族低熔点金属;所述非金属材料与所述金属合成后的物质为半导体材料。
2.根据权利要求1所述的提纯方法,其特征在于:提纯前非金属材料的纯度大于95%。
3.根据权利要求1所述的提纯方法,其特征在于:所述金属的纯度高于99.9%。
4.根据权利要求1所述的提纯方法,其特征在于:所述提纯方法还包括以下步骤:
步骤I、将提纯的非金属材料经过酸洗,去除其中含有的熔体中的金属元素。
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