[发明专利]一种非金属材料的提纯方法有效
申请号: | 202011325625.7 | 申请日: | 2020-11-24 |
公开(公告)号: | CN112408345B | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 王书杰;孙聂枫;刘惠生;孙同年;徐森锋;史艳磊;邵会民;付莉杰;姜剑;王阳;李晓岚 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所;中国电子科技南湖研究院 |
主分类号: | C01B25/04 | 分类号: | C01B25/04;C01B17/033;C22B30/04;C30B29/40;C30B29/44;C30B11/06;C30B15/02 |
代理公司: | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人: | 聂旭中 |
地址: | 050000 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 非金属材料 提纯 方法 | ||
一种非金属材料的提纯方法,涉及高纯材料的制备领域,特别是通过金属熔体对易挥发性非金属材料进行提纯的方法。包括以下步骤:将气化的非金属材料在高压环境下注入到金属熔体中;降低环境压力,收集从金属熔体中挥发出的气泡,得到提纯后的非金属材料。采用本发明提出的技术方案,可以有效去除非金属材料中的杂质,尤其是去除性质相近的元素,方法简单;可以采用本方法对非金属材料多次提纯,逐步提高材料纯度。
技术领域
本发明涉及高纯材料的制备领域,尤其适用于高纯非金属材料的制备,特别是通过金属熔体对易挥发性非金属材料进行提纯的方法。
背景技术
磷、硫及砷等为重要的半导体原材料,其可以制备磷化铟、磷化镓、砷化镓、二硫化钼等半导体材料,在国民经济中具有重要作用。制造半导体材料对半导体原材料的纯度要求很高,一般要达到99.999%以上。
半导体原材料中一般含有Fe、Ca、Co、Mg、Cr、Cd、Mn、Ni、Cu、Pb、Zn、Al等杂质元素。
以磷为例,在磷的提纯领域,传统的工业制备方法为:粗磷的升华、氯化或水解、精馏、提纯、还原等复杂的工艺,设备复杂,世界上仅有几个国家掌握高纯磷的提纯技术。我国磷资源的储量占世界第二,磷化工产品的产量占世界第一,但是我国磷工业的总体水平与国外尚有较大差距。
另外,磷、硫及砷等元素的性质相近,在要求提纯的单一元素中,其它的元素会以杂质的形式出现,如磷中的硫和砷、硫中的磷和砷、砷中的磷和硫。传统的方法,性质相近的杂质很难去除。
发明内容
本发明的目的是提出一种非金属材料提纯方法,获得更高纯度的材料,尤其是针对半导体材料。
为实现发明目的,本发明采用以下技术方案:
一种非金属材料的提纯方法,关键在于包括以下步骤:将气化的非金属材料在高压环境下注入到金属熔体中;降低环境压力,收集从金属熔体中挥发出的气泡,得到提纯后的非金属材料。
进一步地,所述非金属材料为制作半导体晶体的易挥发性材料;所述金属为III族低熔点金属;所述非金属材料与所述金属合成后的物质为半导体材料。
进一步地,所述提纯方法包括以下步骤:
步骤A、将金属置于密闭容器中,抽真空至10-5Pa;
步骤B、密闭容器中充入惰性气体,使密闭容器内的压力高于设计压力;
步骤C、加热金属至设计温度,金属熔化后形成金属熔体;
步骤D、加热非金属材料至气化;
步骤E、将气化的非金属材料注入到金属熔体内;
步骤F、停止对金属的加热;
步骤G、降低密闭容器的压力,同时收集挥发出的气泡;
步骤H、收集挥发出的气泡,直至气泡消失。
进一步地,所述设计温度为T+m,T为该金属与被提纯非金属材料形成的二元化合物的熔点,m的取值范围为10~200K。
所述设计压力为设计温度下,所述金属与非金属形成I%熔体体系的饱和蒸气压。
步骤G中,密闭容器的压力降至所述金属与非金属形成Q%熔体体系的饱和蒸气压。
QI。
原理描述。
在一定的压力下,将气化的非金属材料注入到金属熔体中,气化的非金属材料会扩散到金属熔体中,金属与非金属材料分别以原子状态存在,直至达到该非金属元素的原子在熔体中达到饱和,熔体保持稳定。
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