[发明专利]抛光机及其抛光方法

权利要求书

1.一种抛光机，包括上机体（1）与下机体（2），所述上机体（1）包括上定盘组件，所述上定盘组件包括上定盘（3），所述上定盘（3）的下表面设有抛光垫，所述下机体（2）包括下定盘组件，其特征在于，所述下定盘组件包括下定盘（4）和用于带动所述下定盘（4）同时作方形运动和随机摇摆运动的驱动系统；

所述驱动系统包括用于连接行星齿轮旋转部分的轴的第一驱动源（5），用于连接行星齿轮旋转部分的轴套的第二驱动源（6），以及与行星齿轮连接的用于连接动力传递杆（8）的偏心轮，其中偏心轮带动下定盘（4）在设置有X方向移动导滑轨（94）和Y方向移动导滑轨（92）的轨道机构（9）上作方形运动，同时为了保证下定盘（4）运动轨迹不重复，第二驱动源（6）设置成活塞每次运动行程随机的驱动气缸。

2.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，所述轨道机构（9）还包括底部过渡盘（91）、中部过渡盘（93）和上部过渡盘（95），所述Y方向移动导滑轨（92）设于所述底部过渡盘（91）与中部过渡盘（93）之间，所述X方向移动导滑轨（94）设于中部过渡盘（93）与上部过渡盘（95）之间，所述上部过渡盘（95）与所述下定盘（4）的底部连接，所述底部过渡盘（91）固定设置，所述动力传递杆（8）与所述上部过渡盘（95）连接。

3.根据权利要求2所述的抛光机，其特征在于，所述Y方向移动导滑轨（92）包括导轨与滑轨，所述导轨设于所述底部过渡盘（91）上，所述滑轨设于所述中部过渡盘（93）上；所述X方向移动导滑轨（94）包括导轨与滑轨，所述导轨设于所述中部过渡盘（93）上，所述滑轨设于所述上部过渡盘（95）上。

4.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，所述第一驱动源（5）为减速电机，所述减速电机通过皮带与行星齿轮旋转部分的轴连接。

5.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，所述驱动气缸的活塞全行程的中部设有中间感应器，所述抛光机上设有摇动乱码计数器与控制器，所述驱动气缸的活塞每次运动行程按以下方法随机生成：

S1：所述抛光机开机时，控制摇动乱码计数器以预设时间n秒内计k个数开始计数，不间断往复循环，所述预设时间n秒内计k个数用于指示计数的时间与数量；开启所述驱动系统，驱动气缸开始工作；

S2：当驱动气缸的活塞前进或后退至活塞全行程的中部时，控制器获取中间感应器的感应信息，同时获取摇动乱码计数器的读数m，再将驱动气缸的活塞再前进或后退m/(k/n)秒的指令传递至驱动气缸，驱动气缸继续前进或后退；重复S2，直至抛光结束。

6.根据权利要求5所述的抛光机，其特征在于，所述驱动气缸的活塞全行程的前极限位与后极限位分别设有前极限位感应器和后极限位感应器，当驱动气缸的活塞前进至前极限位或后退至后极限位时，控制器获取前极限位感应器或后极限位感应器的感应信息，同时清除上一次发给驱动气缸的指令，m/(k/n) 秒中未执行的时间不再执行，驱动气缸的活塞继续前进或后退。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的抛光机，其特征在于，所述上定盘组件还包括固定架（10）、升降箱体（11）和升降气缸（12），所述上定盘（3）设于所述升降箱体（11）上，所述升降箱体（11）通过升降气缸（12）可上下移动的与所述固定架（10）连接。

8.一种如权利要求1-7中任一项所述的抛光机的抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：开启抛光机，使上定盘（3）与下定盘（4）为分离状态，将待抛光工件粘贴在所述下定盘（4）上；

S2：向下移动所述上定盘组件，使上定盘（3）上的抛光垫接触所述待抛光工件，开启抛光液供给系统，开启驱动系统，使下定盘（4）同步作方形运动和随机摇摆运动，对待抛光工件进行抛光；

S3：抛光完毕后，关闭抛光液供给系统，关闭驱动系统，向上移动所述上定盘组件，使上定盘（3）与下定盘（4）分离，取下抛光工件，即完成抛光过程。