[发明专利]转移装置、系统及方法有效
申请号: | 202011337654.5 | 申请日: | 2020-11-25 |
公开(公告)号: | CN112967991B | 公开(公告)日: | 2022-10-21 |
发明(设计)人: | 汪庆;范春林;王斌 | 申请(专利权)人: | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L33/48 |
代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 李发兵 |
地址: | 402760 重庆市璧*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 转移 装置 系统 方法 | ||
1.一种转移装置,其特征在于,包括:
固定轴和多个转移单元,各所述转移单元沿所述固定轴的延伸方向依次套设于所述固定轴上;
各所述转移单元被配置为粘附预定数量的微器件,且能相对所述固定轴进行独立转动。
2.如权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述转移单元包括:传动组件、支撑件和转移本体;所述转移本体通过所述支撑件与所述传动组件连接;
所述传动组件被配置为在外部电流的作用下带动所述转移本体相对所述固定轴转动。
3.如权利要求2所述的转移装置,其特征在于,所述传动组件包括套设在所述固定轴上的旋转部件和固定部件;所述旋转部件通过由所述固定部件引起的磁场变化而进行转动。
4.如权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述微器件包括微发光二极管、迷你发光二极管、有机电致发光二极管中的任意一种。
5.如权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述转移单元沿所述固定轴的周向被等间距划分为至少三个子部,且各子部用以粘附辐射不同波长光线的微器件。
6.如权利要求4所述的转移装置,其特征在于,所述微发光二极管包括红色微发光二极管、绿色微发光二极管和蓝色微发光二极管。
7.如权利要求6所述的转移装置,其特征在于,所述转移单元沿所述固定轴的周向被等间距划分为四个子部;
其中,三个子部分别用以粘附红色微发光二极管、绿色微发光二极管和蓝色微发光二极管,余下一个子部用以粘附红色微发光二极管或绿色微发光二极管或蓝色微发光二极管。
8.一种转移系统,其特征在于,包括转移装置和调节装置;
其中,所述转移装置与所述调节装置连接,所述调节装置用以控制所述转移装置在三维方向上进行移动;
所述转移装置为如权利要求1-7任一项所述的转移装置。
9.一种转移方法,其特征在于,基于一种转移装置,所述转移装置包括固定轴和多个转移单元;所述转移方法包括:
提供第一基板、第二基板及第三基板;其中,各基板上均生长有若干个微器件,且不同基板上生长的微器件所辐射之光线的波长不同;
控制所述转移装置分别对所述第一基板、第二基板及第三基板上的所述微器件进行粘附;
粘附完成后,调整所述转移装置中各转移单元相对所述固定轴的角度以实现预期的微器件组合;
控制所述转移装置将调整完成后的微器件转移至一目标基板。
10.如权利要求9所述的转移方法,其特征在于,所述转移单元沿所述固定轴的周向被等间距划分为三个子部,三个子部分别定义为第一子部、第二子部和第三子部;所述对所述微器件进行粘附的步骤,包括:
将所述转移装置移至所述第一基板上方;
调整所述转移装置的姿态,以使各所述转移单元的第一子部朝向所述第一基板并粘附所述第一基板上的微器件;
将所述转移装置移至所述第二基板上方;
调整所述转移装置的姿态,以使各所述转移单元的第二子部朝向所述第二基板并粘附所述第二基板上的微器件;
将所述转移装置移至所述第三基板上方;
调整所述转移装置的姿态,以使各所述转移单元的第三子部朝向所述第三基板并粘附所述第三基板上的微器件。
11.如权利要求10所述的转移方法,其特征在于,所述调整所述转移装置中各转移单元相对所述固定轴的角度的步骤,包括:
为各转移单元中传动组件配置对应的外部电流,以使各转移单元相对所述固定轴的角度为120°×M,所述M为自然数。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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