[发明专利]转移装置、系统及方法有效
申请号: | 202011337654.5 | 申请日: | 2020-11-25 |
公开(公告)号: | CN112967991B | 公开(公告)日: | 2022-10-21 |
发明(设计)人: | 汪庆;范春林;王斌 | 申请(专利权)人: | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L33/48 |
代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 李发兵 |
地址: | 402760 重庆市璧*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 转移 装置 系统 方法 | ||
本发明涉及一种转移装置、系统以及方法,其中转移装置包括固定轴和多个转移单元,各所述转移单元沿所述固定轴的延伸方向依次套设于所述固定轴上;各所述转移单元被配置为粘附预定数量的微器件,且能相对所述固定轴进行独立转动。通过控制各转移单元相对固定轴的转动角度,改变转移装置上粘附的微器件的排列方式;从而实现了直接在转移装置上预先调整微器件的排列方式,得到预期的微器件组合。也即本发明在实现巨量转移的同时,达到了视效优化效果。
技术领域
本发明涉及发光二极管芯片的转移技术领域,尤其涉及一种转移装置、系统及方法。
背景技术
微发光二极管(Micro Light Emitting Diode Display,Micro LED)具有较高的亮度、高分辨率、低功耗以及长寿命等优良性能,Micro LED被称为下一代显示器件,MicroLED技术领域的研发和生产备受社会的广泛关注和期待。
在现有的Micro LED制备工艺流程中,巨量转移技术是Micro LED制备的关键技术,现有的巨量转移技术包括转印技术,转印技术是通过滚轮将微发光二极管转移到目标基板上。采用转印技术时,可通过手动或驱动装置机械带动滚轮转动。但现有的转印技术,只能按生长基板上微发光二极管的排列方式进行转移,却无法实现在巨量转移过程中对微发光二极管的排列方式进行调整。
因此,如何提供一种实现巨量转移过程中微发光二极管排列方式可调整的方案是亟需解决的问题。
发明内容
鉴于上述相关技术的不足,本申请的目的在于提供一种转移装置、系统及方法,旨在解决现有转印技术不能在巨量转移过程中对微发光二极管的排列方式进行调整的问题。
一种转移装置,包括:
固定轴和多个转移单元,各所述转移单元沿所述固定轴的延伸方向依次套设于所述固定轴上;
各所述转移单元被配置为粘附预定数量的微器件,且能相对所述固定轴进行独立转动。
对于上述转移装置,其包括多个转移单元,且各转移单元可相对固定轴进行独立转动。则可通过控制各转移单元相对固定轴的转动角度,改变转移装置上粘附的微器件的排列方式;从而实现了直接在转移装置上预先调整微器件的排列方式,得到预期的微器件组合。也就是说,本发明提供的转移装置在实现巨量转移的同时,达到了视效优化效果。
可选的,所述转移单元包括:传动组件、支撑件和转移本体;所述转移本体通过所述支撑件与所述传动组件连接;
所述传动组件被配置为在外部电流的作用下带动所述转移本体相对所述固定轴转动。
可选的,所述传动组件包括套设在所述固定轴上的旋转部件和固定部件;所述旋转部件通过由所述固定部件引起的磁场变化而进行转动。
可选的,所述微器件包括微发光二极管、迷你发光二极管、有机电致发光二极管中的任意一种。
可选的,所述转移单元沿所述固定轴的周向被等间距划分为至少三个子部,且各子部用以粘附辐射不同波长光线的微器件。
可选的,所述微发光二极管包括红色微发光二极管、绿色微发光二极管和蓝色微发光二极管。
可选的,所述转移单元沿所述固定轴的周向被等间距划分为四个子部;
其中,三个子部分别用以粘附红色微发光二极管、绿色微发光二极管和蓝色微发光二极管,余下一个子部用以粘附红色微发光二极管或绿色微发光二极管或蓝色微发光二极管。
基于同样的发明构思,本申请还提供一种转移系统,所述转移系统包括转移装置和调节装置;
其中,所述转移装置与所述调节装置连接,所述调节装置用以控制所述转移装置在三维方向上进行移动;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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