[发明专利]一种基于纳米裂纹的地震动传感器的制造方法

权利要求书

1.一种基于纳米裂纹的地震动传感器的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)采用薄膜沉积方法在柔性聚合物表面沉积一层金属薄膜；所述的柔性聚合物基底为聚二甲基硅氧烷PDMS，金属薄膜为金薄膜；

2)在金属薄膜表面旋涂光刻胶，并将光刻胶与金属薄膜图形化；

3)根据金属薄膜上所需纳米裂纹的结构，采用光刻工艺对光刻胶进行再次图形化，光刻胶图案为一系列平行条纹，以此控制有光刻胶的部分和没有光刻胶的部分材料中性层处在不同高度；

4)将柔性聚合物基底沿平行光刻胶条纹方向进行弯曲使金属薄膜产生纳米裂纹；所述的纳米裂纹仅产生在未被光刻胶覆盖的金属薄膜区域，以此可以精确控制纳米裂纹的参数；

5)采用去除剂去除金属薄膜表面的光刻胶；

6)将柔性聚合物基底切割成悬臂梁结构；

7)最后将柔性聚合物与玻璃基板键合：分别对柔性聚合物上没有金属薄膜的表面和玻璃基板的表面进行处理后，将两个表面贴合按压实现键合。

2.根据权利要求1所述的一种基于纳米裂纹的地震动传感器的制造方法，其特征在于，步骤1)中所述的薄膜沉积方法包括磁控溅射法、化学气相沉积。

3.根据权利要求1所述的一种基于纳米裂纹的地震动传感器的制造方法，其特征在于，步骤2)中所述光刻胶为BP212正性光刻胶。

4.根据权利要求1所述的一种基于纳米裂纹的地震动传感器的制造方法，其特征在于，步骤2)中图形化方法为光刻和湿法腐蚀。

5.根据权利要求1所述的一种基于纳米裂纹的地震动传感器的制造方法，其特征在于，步骤4)中所述的对柔性聚合物基底进行弯曲使金属薄膜产生纳米裂纹的具体方式为：将柔性聚合物环绕在一定曲率半径的管上，金属薄膜表面出现平行不锈钢管方向的纳米裂纹，其中，曲率半径大小随所需裂纹间隔大小而取值不同，取值范围在0.5mm～12mm。

6.根据权利要求1所述的一种基于纳米裂纹的地震动传感器的制造方法，其特征在于，步骤5)中所述的光刻胶去除剂为丙酮。

7.根据权利要求1所述的一种基于纳米裂纹的地震动传感器的制造方法，其特征在于，步骤7)中所述的键合方法为氧等离子体键合。