[发明专利]一种忆阻器件的阻抗谱测试与拟合方法

权利要求书

1.一种忆阻器件的阻抗谱测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、自制测量夹具，采用是德科技16048H测试夹具，重新组装，具体包括以下子步骤：

（a）将16048H测试夹具上的Lcur端与Lpot端经过T型转换头连接，形成第一个输出端口101；

（b）将16048H测试夹具上的Hcur端与Hpot端经过T型转换头连接，形成第二个输出端口102；

（c）将第一个输出端口101经过三同轴转换头连接，形成第三个输出端口103；

（d）将第二个输出端口102经过三同轴转换头连接，形成第四个输出端口104，测量夹具自制完成；

步骤2、连接阻抗分析仪与测试探针台，将被测器件放入测试探针台的真空腔室中，再将自制测量夹具的A端与Aglient 4294A/Keithley E4990A/HP4192A阻抗分析仪相连，自制测量夹具的B端中的103、104输出端口分别与测试探针台相连，通过自制测量夹具实现阻抗分析仪与测试探针台的连接；

步骤3、设置阻抗分析仪测量环境，首先对阻抗分析仪初始化，然后进行适配器配置，接着进行补偿校准，包括开路与短路的校准；

步骤4、忆阻器件低阻态阻抗谱的测试，将测试探针台与Keithley 4200-SCS/KeysightB1500A半导体参数分析仪连接，设置限制电流为10^-12-0.105A，对被测的忆阻器件施加直流电压0.1-60 V，忆阻器件开启，变为低阻态，再将阻抗分析仪与测试探针台连接，设置交流振荡幅值为0.1-1.0V，偏压为0.1-0.5V，设置测试频率范围为5Hz-110MHz，调节显示方式为R-X/|Z|-θ/G-B，最后，通过GPIB电缆传输到电脑端采集数据，完成对忆阻器件低阻态阻抗谱的测试；

步骤5、忆阻器件高阻态阻抗谱的测试，将测试探针台与Keithley 4200-SCS/KeysightB1500A半导体参数分析仪连接，对被测的忆阻器件施加直流电压扫描范围为-60-0V，忆阻器件翻转为高阻态，再将阻抗分析仪与测试探针台连接，设置交流振荡幅值为0.1-1.0V，偏压为0.1-0.5V，设置测试频率范围为5Hz-110MHz，调节显示方式为R-X/|Z|-θ/G-B，最后，通过GPIB电缆传输到电脑端采集数据，完成对忆阻器件高阻态阻抗谱的测试。

2.一种采用如权利要求1所述的测试方法的忆阻器件的阻抗谱拟合方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、确定忆阻器件阻抗谱的等效电路模型，根据权利要求1得到的忆阻器件高、低阻态阻抗谱的测试结果，确定忆阻器件高、低阻态阻抗谱的等效电路模型；

步骤2、获得忆阻器件阻抗谱等效电路中各元件参数，将权利要求1测试得到的忆阻器件高、低阻态阻抗谱数据经过Zview软件进行拟合，得到忆阻器件高、低阻态阻抗谱等效电路中各元件参数；

步骤3、导出步骤2中Zview软件内的原始数据与拟合数据到origin中作图。