[发明专利]四极杆质量分析装置及方法以及程序记录介质在审
申请号: | 202011344731.X | 申请日: | 2020-11-26 |
公开(公告)号: | CN112992648A | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 笹井浩平;笹仓一志;池山俊広;井上贵仁;内原博 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场STEC;株式会社堀场制作所 |
主分类号: | H01J49/42 | 分类号: | H01J49/42;H01J49/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 包跃华;金玉兰 |
地址: | 日本京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 四极杆 质量 分析 装置 方法 以及 程序 记录 介质 | ||
本发明提供四极杆质量分析装置及方法以及程序记录介质。四极杆质量分析装置具备:离子源(1),使样品离子化;过滤部(3),具备四极杆(31)并使在离子源(1)产生的离子质量分离;检测器(5),检测通过了过滤部(3)的离子;过滤电压控制器(62),控制施加于四极杆(31)的由高频电压和直流电压构成的过滤电压,在阻断模式与入射模式之间进行切换,阻断模式使入射到过滤部(3)的离子不入射到检测器,入射模式使入射到过滤部(3)的离子入射到检测器;基线计算部(63),基于阻断模式中的检测器的输出来计算基线;以及分析部(65),基于入射模式中的检测器的输出和基线计算部(63)计算出的基线来输出样品的分析结果。
技术领域
本发明涉及四极杆质量分析装置。
背景技术
四极杆质量分析装置具备:使样品离子化的离子源;具备四极杆并对从离子源入射的离子进行质量分离的过滤部;以及检测通过了过滤部的离子的检测器。在四极杆,基于马修(Mathieu)方程而施加有将高频电压(RF)与直流电压(DC)以预定的比进行组合而成的过滤电压,过滤部发挥作为质量过滤器的功能。并且,通过将过滤电压一边保持上述的预定的比一边从低电压侧向高电压侧进行扫描,从而从检测器的输出得到离子的质谱。
另外,在四极杆质量分析装置中,为了从所得到的质谱中减少由中性分子产生的噪声或从零点修正偏移而进行基线处理。例如在专利文献1中,设置有使离子入射到检测器的入射期间和不使离子入射到检测器的阻断期间,通过从在入射期间从检测器得到的信号减去在阻断期间从检测器得到的信号从而进行基线处理。更具体而言,入射期间和阻断期间是通过使配置于四极杆的后级的后过滤器的电位发生变化来实现的。另外,作为其他方式也可列举改变离子源与过滤部的电位差,使在离子源产生的离子最初就不入射到过滤部,从而通过检测器检测不出离子。
然而,即使利用如上所述的各方法不使离子入射到检测器来实现阻断期间,有时也会在检测器的输出之中特别是质荷比小的部分产生比其他的部分大的信号。因此,即使单纯地用阻断期间的检测器的输出去减入射期间的检测器的输出,有时也不会成为适当的基线处理。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:专利第5412246号公报
发明内容
技术问题
本发明是鉴于上述的问题而作出的,其目的在于提供一种四极杆质量分析装置,该四极杆质量分析装置可靠地使离子不入射到检测器而能够进行适当的基线处理。
技术方案
即,本发明的四极杆质量分析装置,其特征在于,具备:离子源,其使样品离子化;过滤部,其具备四极杆并使在上述离子源产生的离子质量分离;检测器,其检测通过了上述过滤部的离子;过滤电压控制器,其控制施加于上述四极杆的由高频电压和直流电压构成的过滤电压,在阻断模式与入射模式之间进行切换,所述阻断模式使入射到上述过滤部的离子不入射到上述检测器,所述入射模式使入射到上述过滤部的离子入射到上述检测器;基线计算部,其基于上述阻断模式中的上述检测器的输出来计算基线;以及分析部,其基于上述入射模式中的上述检测器的输出和上述基线计算部计算出的基线来输出样品的分析结果。
另外,本发明的四极杆质量分析方法,其特征在于,是用于四极杆质量分析装置的分析方法,所述四极杆质量分析装置具备:离子源,其使样品离子化;过滤部,其具备四极杆并使在上述离子源产生的离子质量分离;以及检测器,其检测通过了上述过滤部的离子,所述四极杆质量分析方法具备:过滤电压控制步骤,控制施加于上述四极杆的由高频电压和直流电压构成的过滤电压,在阻断模式与入射模式之间进行切换,所述阻断模式使入射到上述过滤部的离子不入射到上述检测器,所述入射模式使入射到上述过滤部的离子入射到上述检测器;基线计算步骤,基于上述阻断模式中的上述检测器的输出来计算基线;以及分析步骤,基于上述入射模式中的上述检测器的输出和在上述基线计算步骤中计算出的基线来输出样品的分析结果。
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