[发明专利]一种监控曝光机曝光能量的装置在审
| 申请号： | 202011348478.5 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112255898A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 韩少华;王健;杨洁;孙彬;沈洪;李晓华 | 申请（专利权）人： | 江苏上达电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K3/06 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人： | 张帅 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 监控 曝光 能量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种监控曝光机曝光能量的装置，其特征在于：包括曝光灯（1）、干板平台区域（2）、曝光后传输装置（3）、承载产品平台（4）、曝光测量仪器平台（5）和处理控制传输器（6），所述的曝光灯（1）设置在干板平台区域（2）的上方，曝光后传输装置（3）设置在干板平台区域（2）下方，承载产品平台（4）设置在曝光后传输装置（3）的下方，曝光后传输装置（3）和承载产品平台（4）的中间设置曝光测量仪器平台（5），曝光测量仪器平台（5）连接处理控制传输器（6），曝光测量仪器平台（5）对曝光灯（1）的曝光量进行收集。
2.根据权利要求1所述的一种监控曝光机曝光能量的装置，其特征在于：所述的处理控制传输器（6）接收曝光测量仪器平台（5）测量的曝光的数据，检测的曝光数据在规格范围内，不进行设备的报警，检测的曝光能力在规格范围外，处理控制传输器（6）将异常反馈给曝光机的内部警报装置，警报装置进行报警停止动作。
3.根据权利要求1所述的一种监控曝光机曝光能量的装置，其特征在于：所述的曝光检测平台（5）能设定的检测频率，需要进行检测时，移动到曝光处，检测完后缩回，进行检测时，曝光检测平台（5）移动出来。
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