[发明专利]一种监控曝光机曝光能量的装置在审
申请号: | 202011348478.5 | 申请日: | 2020-11-26 |
公开(公告)号: | CN112255898A | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 韩少华;王健;杨洁;孙彬;沈洪;李晓华 | 申请(专利权)人: | 江苏上达电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05K3/06 |
代理公司: | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人: | 张帅 |
地址: | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 监控 曝光 能量 装置 | ||
本发明涉及一种监控曝光机曝光能量的装置,属于线路板制造技术领域。包括曝光灯、干板平台区域、曝光后传输装置、承载产品平台、曝光测量仪器平台和处理控制传输器,所述的曝光灯设置在干板平台区域的上方,曝光后传输装置设置在干板平台区域下方,承载产品平台设置在曝光后传输装置的下方,曝光后传输装置和承载产品平台的中间设置曝光测量仪器平台,曝光测量仪器平台连接处理控制传输器,曝光测量仪器平台对曝光灯的曝光量进行收集。本发明的有益效果是:曝光检测仪器可以通过对曝光能量的监控,控制曝光能量的问题,造成批量的线路不良问题。减少人为的去检测曝光能量,实现检测自动化。
技术领域
本发明涉及一种监控曝光机曝光能量的装置,属于线路板制造技术领域。
背景技术
COF即一种柔性线路板,它具有重量轻,厚度薄,线路细,可弯折的一种线路板,目前,手机、电脑、电视等领域都有用到此产品,通过它可以减少最终产品的重量和厚度降低。曝光机原理是将产品线路通过标准模板的方式,透过光把线路映射在涂过涂布液的产品上,经过在显影工序之后,线路会显现出来,对于曝光的曝光量很重要,曝光机的干板在经过曝光机的照射光照射后,通过各种折射,将线路照射在产品上,照射的产品经过显影工序,显出线路,在这个过程中,如果曝光量超过标准值,会出现显影过大,如果曝光量低于标准值,会出现显影不足,经过蚀刻工序时,出现蚀刻不尽的现象。
现有曝光设备在曝光过程中,对于发出的曝光能力,是没有进行监控的,只会规定周期时间进行检测,此种作业方式有风险,因为曝光能量的问题,线路不成型,造成良率低的现象。
发明内容
为了克服上述现有技术的不足之处,本发明提供一种监控曝光机曝光能量的装置,通过在原始曝光机曝光搬送平台上增加一组曝光能量仪器以及一组曝光次数的传感器,在设定的曝光能力公差范围外会进行报警反馈。
本发明是通过如下技术方案实现的:一种监控曝光机曝光能量的装置,其特征在于:包括曝光灯、干板平台区域、曝光后传输装置、承载产品平台、曝光测量仪器平台和处理控制传输器,所述的曝光灯设置在干板平台区域的上方,曝光后传输装置设置在干板平台区域下方,承载产品平台设置在曝光后传输装置的下方,曝光后传输装置和承载产品平台的中间设置曝光测量仪器平台,曝光测量仪器平台连接处理控制传输器,曝光测量仪器平台对曝光灯的曝光量进行收集。
所述的处理控制传输器接收曝光测量仪器平台测量的曝光的数据,检测的曝光数据在规格范围内,不进行设备的报警,检测的曝光能力在规格范围外,处理控制传输器将异常反馈给曝光机的内部警报装置,警报装置进行报警停止动作。
所述的曝光检测平台能设定的检测频率,需要进行检测时,移动到曝光处,检测完后缩回,进行检测时,曝光检测平台移动出来。
本发明的有益效果是:曝光检测仪器可以通过对曝光能量的监控,控制曝光能量的问题,造成批量的线路不良问题。减少人为的去检测曝光能量,实现检测自动化。
附图说明
下面根据附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的结构示意图。
图中:1、曝光灯;2、干板平台区域;3、曝光后传输装置;4、承载产品平台;5、曝光测量仪器平台;6、处理控制传输器。
具体实施方式
如图1所示的一种监控曝光机曝光能量的装置,其特征在于:包括曝光灯1、干板平台区域2、曝光后传输装置3、承载产品平台4、曝光测量仪器平台5和处理控制传输器6,所述的曝光灯1设置在干板平台区域2的上方,曝光后传输装置3设置在干板平台区域2下方,承载产品平台4设置在曝光后传输装置3的下方,曝光后传输装置3和承载产品平台4的中间设置曝光测量仪器平台5,曝光测量仪器平台5连接处理控制传输器6,曝光测量仪器平台5对曝光灯1的曝光量进行收集。
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