[发明专利]一种压力传感器在审
申请号: | 202011349215.6 | 申请日: | 2020-11-26 |
公开(公告)号: | CN112304474A | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 王小平;曹万;王红明;李凡亮;施涛 | 申请(专利权)人: | 武汉飞恩微电子有限公司 |
主分类号: | G01L1/02 | 分类号: | G01L1/02;G01L7/18 |
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地址: | 430000 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 压力传感器 | ||
本发明提供一种压力传感器,该压力传感器包括壳体、金属件、压力芯片、压力接头以及感压结构,壳体具有安装腔,金属件安装在所述安装腔且具有沿第一方向相反的第一面和第二面,所述金属件沿第一方向贯设有压力孔,压力芯片安装在所述第一面且与所述压力孔相对设置,压力接头安装在所述第二面,且与所述金属件共同围设形成一腔体,感压结构设于所述金属件和所述压力接头之间,以将所述腔体分隔成用于填充传递介质的上腔和下腔。
技术领域
本发明实施例涉及压力传感器技术领域,特别涉及一种压力传感器。
背景技术
压力传感器,以尿素压力传感器为例是用于发动机后处理的SCR尿素喷射系统的传感器,进行尿素压力监测,从而确定尿素喷射量。现有技术中的压力传感器(在测试尿素以外其他液体或者气体也存在同样的情况,本发明以尿素压力传感器为例进行说明),壳体通过金属底座密封,金属底座和感压结构之间形成充油腔,压力芯片安装在金属底座(即TO底座)上且位于充油腔内,如此压力传递至感压结构后,感压结构将压力传递给充油腔内的介质(以硅油为例),压力芯片的正面感受硅油的压力,以测量尿素压力。
然而,压力芯片、以及压力芯片与其他元器件金丝键合等等都会增大充油腔的高度,从而导致充油腔内的体积增大,使充油腔内的油量增多。在温度较高时,充油腔内的硅油会膨胀而对压力芯片施加压力,而硅油越多,则发生的热膨胀体积越大,此时充油腔内的硅油会对压力芯片施加的压力越大,影响压力芯片的输出,产生温漂;
进一步地,采用TO底座一方面成本高,另一方面需要玻璃子进行密封,受玻璃烧结工艺影响存在高温泄漏的风险,耐高温性差。
发明内容
本发明实施方式的目的在于提供一种压力传感器,旨在解决上述压力传感器容易产生温漂、成本高、泄露风险高的问题。
为解决上述技术问题,本发明的实施方式提供了一种压力传感器,包括:
壳体,具有安装腔;
金属件,安装在所述安装腔且具有沿第一方向相反的第一面和第二面,所述金属件沿第一方向贯设有压力孔;
压力芯片,安装在所述第一面且与所述压力孔相对设置;
压力接头,安装在所述第二面,且与所述金属件共同围设形成一腔体;以及,
感压结构,设于所述金属件和所述压力接头之间,以将所述腔体分隔成用于填充传递介质的上腔和下腔。
本发明通过设置金属件
优选地,所述感压结构安装在所述第二面,且完全覆盖所述压力孔;
所述压力孔的内壁限定形成所述上腔。
优选地,所述感压结构夹持并安装在所述金属件和所述压力接头之间;
所述第二面的中部朝所述第一面凹陷形成容纳腔,所述容纳腔、所述压力孔共同限定形成上腔。
优选地,所述感压结构夹持在所述金属件和所述压力接头之间后焊接在一起。
优选地,所述感压结构为波纹片。
优选地,所述压力芯片具有感应面以及与所述感应面相反的安装面,所述安装面与所述第一面相对设置。
优选地,还包括电路板,所述电路板安装在所述第一面。
优选地,所述电路板设有安装槽,所述压力芯片位于所述安装槽。
优选地,所述压力接头沿第一方向贯设有通孔,所述通孔与所述感压结构之间限定形成所述下腔。
优选地,所述通孔内填设有防冻件。
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