[发明专利]一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置

权利要求书

1.一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，其特征在于：包括吸盘底座、设于吸盘底座上的U型滑台装置以及控制U型滑台装置倾斜角度的滑台微调系统，滑台微调系统与U型滑台装置通过齿轮啮合定位，U型滑台装置上方还固设有用于吸附的微孔陶瓷；

U型滑台装置包括U型滑台上部和U型滑台下部，且U型滑台上部和U型滑台下部通过对应布设的槽结构滑动配合，并通过配设在U型滑台上部的滑台紧固件锁紧固定。

2.根据权利要求1所述的一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，其特征在于：所述U型滑台下部包括U型本体以及间隔凸设于U型本体上的两个下T型台，且在两个下T型台之间的U型本体上还开设有下T型槽；

所述U型滑台上部包括与下T型台配设的上T型槽以及与下T型槽配合的上T型台；

装配时，U型滑台上部通过上T型槽和上T型台相应的配设于下T型台和下T型槽中实现滑动配合。

3.根据权利要求2所述的一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，其特征在于：所述滑台紧固件设为螺杆结构并水平设于U型滑台上部的一端，且其末端部穿过U型滑台上部的端面并直抵下T型槽进行锁紧固定。

4.根据权利要求2所述的一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，其特征在于：所述上T型台上还设有齿轮结构，齿轮结构与滑台微调系统进行齿轮啮合定位。

5.根据权利要求4所述的一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，其特征在于：所述滑台微调系统的调节角度为±30°。

6.根据权利要求1至5任一项所述的一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，其特征在于：所述微孔陶瓷以及U型滑台装置上均开设有通气孔，且通气孔连通设置。

7.根据权利要求6所述的一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，其特征在于：所述滑台微调系统的调节精度优于0.1°。