[发明专利]一种助熔剂倒提拉晶体生长的方法在审
申请号: | 202011354513.4 | 申请日: | 2020-11-27 |
公开(公告)号: | CN112410869A | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 王坤鹏;张建秀;刘泳;任衍彪;李凤丽;徐本燕;朱雨凤 | 申请(专利权)人: | 枣庄学院 |
主分类号: | C30B13/02 | 分类号: | C30B13/02;C30B29/14;C30B29/30 |
代理公司: | 枣庄小度智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 37282 | 代理人: | 郑素娟 |
地址: | 277100 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 熔剂 倒提拉 晶体生长 方法 | ||
本发明公开了一种助熔剂倒提拉晶体生长的方法。制备含有助熔剂的多晶料棒;在光学浮区炉中,以高于正常生长速度约50%的速度,快速进行预生长;快速预生长即将结束时,即料棒头部仅剩约0.5cm时,在温度和转速不变的情况下,停止熔区移动约1分钟;将得到的预生长多晶料棒作为熔体部分,将剩余的料棒头作为籽晶,开始反向移动熔区,熔区移动的速率降为0.5mm/min,即采用光学浮区炉实现了TSSG顶部籽晶法生长的效果,本专利称之为助熔剂倒提拉法;在所述的两个完全相反的生长过程中,始终保持固液界面平缓连接,全程不中断,直至生长过程结束。本方法制备的单晶具有工艺简单,周期短和稳定性好的特点,所生长的晶体缺陷浓度低、光学质量高。
技术领域
本发明涉及一种助熔剂倒提拉晶体生长技术,属于功能晶体材料技术领域。
背景技术
光学浮区法是目前常用的晶体生长技术之一,具有无需坩埚、无污染、生长速度快等优点,但是仅能生长一致熔融的晶体,对于非一致熔融的材料,一般都采用高温溶液法,即加入助熔剂以降低材料的熔点,但高温溶液法工艺复杂、成本高、需要将化学原料在高温下熔化于贵金属坩埚当中、因而也易于污染。
为克服现有技术的困难,本发明结合了光学浮区技术和高温溶液晶体生长技术的优点,提供一种无坩埚、无污染、生长速度快、又能生长非一致熔融材料的助熔剂倒提拉晶体生长技术。
发明内容
本发明的目的在于提供一种助熔剂倒提拉晶体生长的方法,以解决上述技术问题。
为实现上述目的本发明采用以下技术方案:
一种助熔剂倒提拉晶体生长的方法,其特征在于,包括如下步骤:
1)制备含有助熔剂的多晶料棒;
2)在光学浮区炉中,以高于正常生长速度约30-60%的速度,快速进行预生长;
3)快速预生长即将结束时,即料棒头部仅剩约0.5-1.2cm时,在温度和转速不变的情况下,停止熔区移动约1-3分钟;
4)将步骤3得到的预生长多晶料棒作为熔体部分,将剩余的料棒头作为籽晶,开始反向移动熔区,熔区移动的速率降为0.15mm -0.5mm/min,5-9小时后结束晶体生长,即采用光学浮区炉实现了TSSG顶部籽晶法生长的效果,称之为助熔剂倒提拉法;
5)在步骤2和4所述的两个完全相反的生长过程中,始终保持固液界面平缓连接,全程不中断,直至生长过程结束。
所述步骤1具体方法如下:将按摩尔比配置的原料在玛瑙坩埚中充分研磨20-40分钟后,将混合均匀的原料转移至陶瓷坩埚中,放入烧结炉中于170-210 oC烧结12-24小时,制作约5-8cm的初始料棒。
本发明的有益效果是:本发明即适用于一致熔融的晶体生长,同时也适用于非一致熔融晶体的生长,尤其解决了非一致熔融晶体生长过程中的坩埚污染、成本高等问题。本方法制备的单晶具有工艺简单,周期短和稳定性好的特点,所生长的晶体缺陷浓度低、光学质量高。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本发明。
实施例1
LiSrBaPO4晶体的制备。使用BaCO3 , SrCO3 , Li2CO3 , 和NH4H2PO4为初始原料,根据化学方程式:
Li2CO3 + 2SrCO3 + 2BaCO3 + NH4H2PO4 → 2LiSrBaPO4 + 5CO2↑ + 3H2O↑;
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