[发明专利]一种晶圆切片机圆边打磨设备

权利要求书

1.一种晶圆切片机圆边打磨设备，其结构包括机体(1)、保护罩(2)、打磨盘(3)，所述保护罩(2)安装在机体(1)顶部，所述打磨盘(3)位于保护罩(2)内部，其特征在于：

所述打磨盘(3)设有轴承(31)、盘体(32)、磨块(33)、凹槽(34)、推动机构(35)，所述轴承(31)设置在打磨盘(3)中部，所述盘体(32)嵌套在轴承(31)外壁，所述磨块(33)与盘体(32)为一体化结构，所述凹槽(34)凹陷在盘体(32)外壁，且位于磨块(33)之间，所述推动机构(35)安装在凹槽(34)内底部。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切片机圆边打磨设备，其特征在于：所述推动机构(35)设有支撑架(a1)、弹条(a2)、推板(a3)、支撑轴(a4)、推杆(a5)、内槽(a6)，所述支撑架(a1)位于推动机构(35)左侧，所述推板(a3)通过弹条(a2)安装在支撑架(a1)右端，所述推杆(a5)通过支撑轴(a4)衔接连接在推动机构(35)内中部，所述内槽(a6)位于推动机构(35)内部。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切片机圆边打磨设备，其特征在于：所述推板(a3)设有板体(s1)、引流槽(s2)、推片(s3)，所述引流槽(s2)贯穿板体(s1)两端以及顶部，所述推片(s3)嵌固在板体(s1)右端底部。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切片机圆边打磨设备，其特征在于：所述推片(s3)设有框架(d1)、摆动板(d2)、衔接轴(d3)、弹簧条(d4)、推块(d5)，所述框架(d1)位于推片(s3)左侧，所述摆动板(d2)通过衔接轴(d3)衔接安装在框架(d1)右端顶部，所述弹簧条(d4)连接在摆动板(d2)左侧与框架(d1)内顶部之间，所述推块(d5)置于框架(d1)内底部。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆切片机圆边打磨设备，其特征在于：所述引流槽(s2)设有支撑块(e1)、浮动块(e2)、限位杆(e3)，所述支撑块(e1)位于引流槽(s2)两侧，所述浮动块(e2)套在引流槽(s2)内顶部，所述限位杆(e3)安装在浮动块(e2)顶部与支撑块(e1)顶面之间。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆切片机圆边打磨设备，其特征在于：所述浮动块(e2)设有块体(r1)、引流轨(r2)、刮片(r3)，所述块体(r1)位于浮动块(e2)中部，所述引流轨(r2)凹陷在块体(r1)顶面，所述刮片(r3)嵌固在块体(r1)外壁，且位于引流轨(r2)之间。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆切片机圆边打磨设备，其特征在于：所述刮片(r3)设有支撑板(t1)、弹块(t2)、推动片(t3)，所述支撑板(t1)处于刮片(r3)左侧，所述推动片(t3)通过弹块(t2)安装在支撑板(t1)右侧面。