[发明专利]对用于IR光谱分析的光学表面的损伤的确定

权利要求书

1.一种用于IR光谱分析并且用于对在IR光谱分析期间暴露于测量辐射(9)的表面(13、15)的损伤进行确定的装置(1)，其中，所述装置包括：

辐射源(7)，所述辐射源用于产生所述测量辐射(9)；

样品容器(21)，所述样品容器用于接纳样品(16)，其中，所述样品容器至少部分地由所述表面(13、15)限界；

检测器(19)，所述检测器用于检测与所述样品(16)相互作用后的测量辐射(17)；

其中，所述装置被配置成：

对接纳在所述样品容器中的参考样品的IR参考光谱(29、31、I_V)进行测量；

评估所述参考光谱(29、31、I_V)以确定所述损伤的指示标(S、S⁰、S₁)，

其中，评估包括对基于在预确定积分光谱范围(33)内的参考光谱(29、31、I_V)的量进行积分，其中，所述指示标是根据所述积分的值(S)来确定的。

2.根据前述权利要求所述的装置，其中，所述预确定积分光谱范围(33)介于800cm^-1与2000cm^-1之间，特别是介于900cm^-1与1500cm^-1之间，其中，所述指示标定量地指示所述表面的污染程度。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述参考光谱包括：

对于测量到的来自所述表面(13、15)的测量辐射的反射的强度的指示，或

对于分别针对不同的波数和波长而测量到的穿过包括所述参考样品的所述表面的测量辐射的透射的强度的指示，其中，所述测量辐射包括从2μm至12.5μm的范围内的波长。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，评估包括：

将所述参考光谱(29、31、I_V)归一化(53)以获得归一化的参考光谱(I^N_V)，

其中，为此目的，将所测量到的参考光谱(I_V)除以预确定波数(34)状态下的强度、和/或乘以预确定因子；和/或

将所述参考光谱(I^N_V)对数化(55)，特别是将所述归一化的参考光谱对数化，以获得对数化且归一化的参考光谱(E_V)。

5.根据权利要求1所述的装置，其中，评估包括：

对所述参考光谱(E_V)进行温度补偿(57)，特别是对对数化的归一化的参考光谱(E_V)进行温度补偿(57)，以获得温度补偿的参考光谱(E_V^T)，

其中，基于所述参考光谱的量与所述温度补偿的参考光谱成正比。

6.根据前述权利要求所述的装置，

其中，温度补偿(57)包括从所述参考光谱(E_V)中减去相对于波数而言为线性的函数(B_V)，特别是从对数化的归一化的参考光谱(E_V)中减去相对于波数而言为线性的函数(B_V)，

其中，特别地，限定所述线性函数的两个参数是通过如下方式限定的：在第一预确定波数(34)状态下和在第二预确定波数(36)状态下用所述线性函数对所述参考光谱进行均衡，特别是对对数化的归一化的参考光谱进行均衡。

7.根据前述权利要求所述的装置，

其中，所述第一预确定波数(34)介于870cm^-1与970cm^-1之间，和/或

其中，所述第二预确定波数(36)介于1790cm^-1与1900cm^-1之间。