[发明专利]一种高纯二硅化钽粉末及其制备方法

权利要求书

1.一种高纯二硅化钽粉末的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）将高纯硅粉和高纯钽粉按TaSi₂的化学计量比称重，所述高纯硅粉平均粒度在1-10微米之间，纯度在99.99%以上，所述高纯钽粉平均粒度在5-20微米之间，纯度在99.9%以上；

（2）将硅粉和钽粉混合后放入翻滚混料机中，同时加入高纯TaSi₂粉末，TaSi₂粉末加入量为硅粉和钽粉总重量的10%-30%，加入玛瑙球进行混合8-12h；

（3）将混合后的粉末装入刚玉坩埚中，将装粉末的坩埚放入气氛烧结炉中，使用高纯氩气对气氛炉炉腔进行清洗，直至炉腔内氧含量低于30 ppm；

（4）在氩气气氛保护下以5℃/min的速率升温至1260-1360℃，保温1-8 h，以5 ℃/min的速度降温至室温；

（5）将烧结后的粉末使用行星球磨机球磨破碎。

2.根据权利要求1所述的高纯二硅化钽的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，球料比为1:2，反应原料在混料机中混料时间为12h。

3.根据权利要求1所述的高纯二硅化钽的制备方法，其特征在于，所述步骤（5）中，球料比为1:1，酒精与粉末的比例为1:2，球磨时间为4 h，球磨后在70℃烘干酒精，使用200目筛网过滤出玛瑙球。