[发明专利]一种楔块调幅探针卡调幅结构有效
申请号: | 202011367067.0 | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN112462111B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 于海超;周明 | 申请(专利权)人: | 强一半导体(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调幅 探针 结构 | ||
1.一种楔块调幅探针卡调幅结构,其特征在于,设置在探针卡主体(1)的上方,包括压块,所述压块设置在探针卡主体(1)上的上楔板(2)部分露出的上方,压块能够下压单个或多个上楔板(2)露出的部分,使上楔板(2)向下移动;
所述的调幅结构还包括:压块板(4-1)、压块板销(4-2)、压块板销槽(4-3)、压块横杆(4-4)、横杆滑块(4-5)、横杆弹簧(4-6)、横杆滑块丝杆(4-7)、第一斜齿轮(4-8)、第二斜齿轮(4-9)、传动杆(4-10)、滑动齿轮(4-11)、滑板(4-12)、壳体(4-13)、齿辊(4-14)和滑板丝杆(4-15),若干个所述的压块板(4-1)并列滑动设置在压块横杆(4-4)上形成压块,每个压块板(4-1)的下端均设置有一个压块板销(4-2),每个上楔板(2)的上端均设置有一个压块板销槽(4-3),所述压块左侧的压块横杆(4-4)上滑动设置有横杆滑块(4-5),该压块右侧的压块横杆(4-4)上套设有横杆弹簧(4-6),所述的压块横杆(4-4)的截面为矩形,所述的横杆滑块(4-5)的上端套设在横杆滑块丝杆(4-7)上,横杆滑块丝杆(4-7)上固定设置有第一斜齿轮(4-8),第一斜齿轮(4-8)与第二斜齿轮(4-9)啮合,第二斜齿轮(4-9)与传动杆(4-10)的下端固定连接,传动杆(4-10)的上端固定连接有滑动齿轮(4-11),传动杆(4-10)的中间转动连接在滑板(4-12)上,滑板(4-12)滑动设置在壳体(4-13)的内部,壳体(4-13)固定连接在探针卡主体(1)上,所述的横杆滑块丝杆(4-7)的两端分别转动连接在滑板(4-12)上,所述的压块横杆(4-4)的两端均固定连接在滑板(4-12)上,所述的滑动齿轮(4-11)与齿辊(4-14)啮合,齿辊(4-14)的两端均转动连接在壳体(4-13)上,所述滑板(4-12)的中间套设在滑板丝杆(4-15)上,滑板丝杆(4-15)的两端均转动连接在壳体(4-13)上。
2.根据权利要求1所述的一种楔块调幅探针卡调幅结构,其特征在于,还包括复位框(4-16)和复位框弹簧(4-17),所述复位框(4-16)套设在探针卡主体(1)的外侧,复位框(4-16)的下端与壳体(4-13)的内壁之间设置有复位框弹簧(4-17),所述上楔板(2)的上楔板滑块(2-6)搭接在复位框(4-16)的上端。
3.根据权利要求2所述的一种楔块调幅探针卡调幅结构,其特征在于,还包括复位框推杆(4-18),所述复位框推杆(4-18)的上端固定连接在滑板(4-12)上,复位框推杆(4-18)的下端悬空设置在复位框(4-16)的上方。
4.根据权利要求1、2或3任一项所述的一种楔块调幅探针卡调幅结构,其特征在于,应用在一种楔块调幅探针卡上。
5.根据权利要求4所述的一种楔块调幅探针卡调幅结构,其特征在于,所述一种楔块调幅探针卡包括:探针卡主体(1)、上楔板(2)和下楔板(3),所述探针卡主体(1)的内部滑动设置有若干个上楔板(2)和下楔板(3),若干个上楔板(2)和下楔板(3)依次间隔交错设置;
所述探针卡主体(1)包括:主体框架(1-1)、探针槽(1-2)和上楔板槽(1-3),所述主体框架(1-1)内部沿长度方向容纳有若干个上楔板(2)和下楔板(3),且主体框架(1-1)的底部沿长度方向设置有供探针穿过的探针槽(1-2),主体框架(1-1)上还设置有供所述上楔板(2)部分露出的上楔板槽(1-3)。
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