[发明专利]一种楔块调幅探针卡调幅结构

说明书

本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种楔块调幅探针卡调幅结构，包括：压块板、压块板销、压块板销槽、压块横杆、横杆滑块和横杆弹簧，若干个压块板并列滑动设置在压块横杆上形成压块，每个压块板的下端均设置有一个压块板销，每个上楔板的上端均设置有一个压块板销槽，能够实现，通过将压块进行水平移动，与单个或多个上楔板的露出端对齐，将压块下移，使上楔板插入，通过压块板与上楔板对接，在压块下移过程中，压块板随着上楔板水平滑动，在滑动过程中保持对接，能够保证上楔板滑动稳定，同时多个压块板滑动设置在压块横杆上，多个压块板能够单独移动，能够适应多个上楔板的不同水平移动距离。

技术领域

本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种楔块调幅探针卡调幅结构。

背景技术

随着半导体工业的发展，越来越多的电子装置被接入在半导体晶圆上，在半导体器件的制作过程中，将探针与半导体晶圆上的金属端接触，实现临时的电连接，使测试仪的电信号通过探针传输到半导体器件，测试仪通过返回的电信号对半导体晶圆上的电子装置进行检测。

探针卡是连接半导体晶圆与测试仪之间的纽带，通过将多个探针集成在探针卡上，使多个探针同时与半导体晶片上的多个半导体器件同时接触，提高检测效率。

在半导体器件的生产过程中，需要多次对一个或多个装置内的大量电路触点进行访问，通过移动机构对探针卡进行移动，使探针与触点接触，同时，为匹配检测过程中的多组触点，探针卡需要设置多个，由固持器对探针卡进行固定，固持器为能够旋转的多面体，通过在每个面上设置一个或多个探针卡，在需要切换探针卡时，通过转动固持器，将对应的探针卡转动至半导体器件上方进行检测，或者设置多个可移动的平台对探针卡进行移动，实现探针卡与不同触点组的匹配，现有技术中，为了实现多组触点的检测，采用了对探针卡的互换来实现匹配，通过切换不同的探针卡来实现匹配，由于单个探针卡无法通用，导致探针卡的驱动结构变得复杂。

发明内容

本发明克服了上述现有技术的不足，提供了一种楔块调幅探针卡调幅结构，能够用于楔块调幅探针卡来调整探针卡的检测幅度，使单个探针卡能够检测多组不同宽幅的触点，具有通用性。

本发明的技术方案：

一种楔块调幅探针卡，包括：探针卡主体、上楔板和下楔板，所述探针卡主体的内部滑动设置有若干个上楔板和下楔板，若干个上楔板和下楔板依次间隔交错设置；

所述探针卡主体包括：主体框架、探针槽和上楔板槽，所述主体框架内部沿长度方向容纳有若干个上楔板和下楔板，且主体框架的底部沿长度方向设置有供探针穿过的探针槽，主体框架上还设置有供所述上楔板部分露出的上楔板槽；

所述上楔板包括：上楔板体、上楔板楔头、上楔板探针和上楔板触点，所述上楔板体的下端设置有上楔板楔头，上楔板楔头的两侧分别延伸至所述上楔板体的两侧面，上楔板楔头的下端设置有上楔板探针，所述的上楔板触点一端与上楔板探针连接，上楔板触点的另一端从所述上楔板体的一侧露出；

所述下楔板包括：下楔板体、下楔板楔头、下楔板探针和下楔板触点，所述下楔板体的上端设置有下楔板楔头，下楔板楔头的两侧分别延伸至所述下楔板体的两侧面，下楔板体的下端设置有下楔板探针，所述的下楔板触点一端与下楔板探针连接，下楔板触点的另一端从所述下楔板体的一侧露出；

定义待检测触点所需的探针间距为标准探针间距，所述上楔板体和下楔板体的厚度均为标准探针间距，所述探针卡主体与所述上楔板触点和下楔板触点对应的一侧间隔设置有若干个固定触点，若干个固定触点的一端与检测电路板连接，固定触点的另一端延伸至主体框架的内部，相邻的所述固定触点的间距为标准探针间距。