[发明专利]半导体激光器阵列反射镜耦合装置

说明书

本发明提供了一种半导体激光器阵列反射镜耦合装置，包括：装置底板平面设置，所述装置底板上设置有横梁；料盘单元设置有料盘运动机构和料盘安装座，所述料盘安装座用于安装反射镜料盘；夹具单元设置有夹具运动机构和夹具机构，所述夹具单元用于夹持并运输反射镜；视觉监测单元设置有监测相机和相机运动机构，所述监测相机通过所述相机运动机构安装在所述横梁上；物料单元设置有物料运动机构和物料吸盘，所述物料吸盘通过所述物料运动平台安装在所述装置底板上；探针单元设置有探针运动机构和探针夹持机构，所述探针夹持机构通过所述探针运动机构安装在所述装置底板上，所述探针夹持机构上安装有加电探针；点胶单元设置有点胶机构和固化机构。

技术领域

本发明涉及半导体激光器技术领域，特别涉及一种半导体激光器阵列反射镜耦合装置。

背景技术

半导体激光器具有体积小，重量轻，效率高，寿命长等诸多有点，其在国民经济的各方面起着越来越重要的作用；随着实际工程的发展，对于半导体激光器的输出功率要求越来越高，为了获得高输出功率需要采用阵列半导体激光器，即将多个半导体激光器线状集成在同一个载体上，通过光学元件将每个半导体激光器产生的激光汇聚到一起。

反射镜是阵列半导体激光器的光学元件中极为重要的一个，其负责将每个半导体激光器的光反射至同一方向，反射镜的耦合精度直接影响到阵列半导体激光器的质量；现有的阵列半导体激光器的反射镜大多采用人工耦合或半自动化耦合，其中人工耦合需要操作人员提前给半导体激光器上电，使其发射激光，随后利用器具将反射镜设置在光路上，通过细微的调整使得激光照射向指定角度，在确定好耦合位置后还需要通过胶体令反射镜固定在载体上，整个过程工序繁琐且耗时长，且在整个过程中需要保证反射镜不会被污染，否则极易影响到激光的反射质量，若半导体激光器的功率过高还有可能对操作人员的人身安全造成影响；其中半自动化耦合时反射镜的夹持通常采用夹取或者气吸等单一夹持方式，其夹持效率低下、夹持精度不高，为适应单一夹持方式通常还需要将反射镜由原装料盘移送至夹持专用料盘，这一步骤极大的增加了耦合时间，降低了耦合效率。

发明内容

本发明提供了一种半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其目的是为了提升反射镜耦合效率以及耦合精度。

为了达到上述目的，本发明的实施例提供了一种半导体激光器阵列反射镜耦合装置，包括：

装置底板，所述装置底板平面设置，所述装置底板上设置有横梁；

料盘单元，所述料盘单元设置有料盘运动机构和料盘安装座，所述料盘安装座通过所述料盘运动机构设置在所述装置底板上，所述料盘安装座用于安装反射镜料盘；

夹具单元，所述夹具单元设置有夹具运动机构和夹具机构，所述夹具机构通过所述夹具运动机构设置在横梁上，所述夹具单元用于夹持并运输反射镜；

视觉监测单元，所述视觉监测单元设置有监测相机和相机运动机构，所述监测相机通过所述相机运动机构安装在所述横梁上；

物料单元，所述物料单元设置有物料运动机构和物料吸盘，所述物料吸盘通过所述物料运动平台安装在所述装置底板上；

探针单元，所述探针单元设置有探针运动机构和探针夹持机构，所述探针夹持机构通过所述探针运动机构安装在所述装置底板上，所述探针夹持机构上安装有加电探针；

点胶单元，所述点胶单元设置有点胶机构和固化机构。

其中，所述料盘运动机构设置有第一料盘运动平台，所述第一料盘运动平台的活动板上通过料盘连接件设置有第二料盘运动平台，所述第二料盘运动平台的活动板上设置有料盘旋转平台，所述料盘安装座设置在所述料盘旋转平台上。