[发明专利]晶体管阵列基板和包括其的电子装置在审

专利信息
申请号: 202011377958.4 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN112992922A 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 丁灿墉;李道炯;白朱爀 申请(专利权)人: 乐金显示有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L29/786;H01L21/336;H01L27/32;G09G3/3233
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王萍;王鹏
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 晶体管 阵列 包括 电子 装置
【说明书】:

提供了一种晶体管阵列基板和电子装置。第一有源层包括第一区域、与第一区域间隔开的第二区域以及设置在第一区域域第二区域之间的沟道区域。栅极绝缘膜设置在第一有源层上。栅电极设置在栅极绝缘膜上,以与第一有源层的沟道区域的一部分交叠。栅电极与第一有源层的第一区域和第二区域的至少一个区域的一部分交叠。防止了沟道区域的劣化。

相关申请的交叉引用

本申请要求2019年12月16日提交的韩国专利申请第10-2019-0168156号的优先权,出于所有目的通过引用将其合并于此,就如同在此完全阐述一样。

技术领域

实施方式涉及晶体管阵列基板和包括该晶体管阵列基板的电子装置。

背景技术

随着信息社会的发展,对诸如显示装置和照明装置的各种类型的电子装置的需求正在增加。这样的电子装置可以包括其中设置有数据线和栅极线的面板、驱动数据线的数据驱动器以及驱动栅极线的栅极驱动器。

在用作这样的电子装置的关键部件的面板中,可以设置具有多种功能的多个晶体管来驱动面板。

因此,面板的制造工艺不可避免地会变得复杂和困难。当寻求工艺上的便利来克服这样的问题时,晶体管的器件性能可能不利地降低。

特别地,可能难以将多个晶体管设计成具有与功能不同的晶体管的不同要求对应的结构。

发明内容

实施方式提供了一种晶体管阵列基板以及包括该晶体管阵列基板的电子装置,该晶体管阵列基板具有用于防止有源层与栅电极之间的短路的结构。

此外,实施方式提供了一种晶体管阵列基板以及包括该晶体管阵列基板的电子装置,该晶体管阵列基板具有即使在对连接至电源节点的电极施加高电压的情况下也能够防止有源层的沟道区域劣化的结构。

此外,实施方式提供一种具有用于防止迁移率降低的结构的晶体管阵列基板和包括该晶体管阵列基板的电子装置。

根据一个方面,实施方式可以提供一种晶体管阵列基板和包括该晶体管阵列基板的电子装置,该电子装置包括:包括至少一个晶体管的面板;以及驱动面板的驱动电路。面板包括:基板;设置在基板上的第一有源层,第一有源层包括第一区域、与第一区域间隔开的第二区域以及设置在第一区域与第二区域之间的沟道区域;设置在第一有源层上的栅极绝缘膜;至少一个晶体管的栅电极,其设置在栅极绝缘膜上并且与第一有源层的沟道区域的一部分交叠;设置在栅电极上的层间绝缘膜;以及设置在层间绝缘膜上并且彼此间隔开的至少一个晶体管的第一电极和第二电极。栅电极与第一有源层的第一区域和第二区域的至少一个区域的一部分交叠。

根据一个方面,实施方式可以提供一种晶体管阵列基板,其包括:基板;设置在基板上的第一有源层,第一有源层包括第一区域、与第一区域间隔开的第二区域以及设置在第一区域与第二区域之间的沟道区域;设置在第一有源层上的栅极绝缘膜;栅电极,其设置在栅极绝缘膜上并与第一有源层的沟道区域的一部分交叠;设置在栅电极上的层间绝缘膜;以及设置在层间绝缘膜上并且彼此间隔开的第一电极和第二电极。栅电极与第一有源层的第一区域和第二区域的至少一个区域的一部分交叠。

根据示例性实施方式,在晶体管阵列基板和电子装置中,栅极绝缘膜可以设置成使得栅电极不接触有源层的导电区域,从而防止有源层与栅电极之间的短路。

此外,根据示例性实施方式,在晶体管阵列基板和电子装置中,沟道区域的一部分设置在不与栅电极交叠的区域中,使得即使对连接至电源节点的电极施加高电压,有源层的沟道区域也不劣化。

此外,根据示例性实施方式,在晶体管阵列基板和电子装置中,有源层的沟道区域的长度被设计为适当的,从而可以防止迁移率降低。

附图说明

结合附图,从下面的详细描述中将更清楚地理解本公开的上述和其他目的、特征和优点,其中:

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