[发明专利]一种便于调节的双工位直投式光刻机

权利要求书

1.一种便于调节的双工位直投式光刻机，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的顶端固定开设有凹槽（2），所述凹槽（2）内固定设置有工作台（3），且工作台（3）的顶端固定设置有传送台（4）；所述传送台（4）由输送带（5）、主动轮（6）和从动轮（7）构成，且主动轮（6）与从动轮（7）通过输送带（5）传送连接；所述传送台（4）的顶部固定设置有第一固定架（8）和第二固定架（9），且第一固定架（8）固定设置在第二固定架（9）的一侧；所述第一固定架（8）一侧的顶端固定设置有对位相机（10），所述第二固定架（9）一侧的顶端固定设置有镜筒（11）；所述工作台（3）的正面固定设置有操作口（12），且工作台（3）的两侧固定设置有开口（13）。

2.根据权利要求1所述的一种便于调节的双工位直投式光刻机，其特征在于，所述底座（1）的内部固定设置有两个液压缸（14），且两个液压缸（14）的伸缩端贯穿凹槽（2）与工作台（3）的底端固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种便于调节的双工位直投式光刻机，其特征在于，所述第一固定架（8）和第二固定架（9）的底端固定设置有安装块（15），且安装块（15）的表面水平开设有第一螺纹孔（16）。

4.根据权利要求3所述的一种便于调节的双工位直投式光刻机，其特征在于，所述工作台（3）的顶端且位于传送台（4）的两侧均固定开设有方形槽（17），所述方形槽（17）的宽度大于安装块（15）的宽度。

5.根据权利要求3所述的一种便于调节的双工位直投式光刻机，其特征在于，所述工作台（3）的正面和背面均水平开设有第二螺纹孔（18），所述第二螺纹孔（18）内螺纹设置有螺纹柱（19）且第二螺纹孔（18）与第一螺纹孔（16）的尺寸相同。

6.根据权利要求1所述的一种便于调节的双工位直投式光刻机，其特征在于，所述主动轮（6）的一侧固定设置有驱动电机（20），且主动轮（6）与驱动电机（20）的输出端传动连接。

7.根据权利要求1所述的一种便于调节的双工位直投式光刻机，其特征在于，所述底座（1）的内部固定设置有储物仓（21），所述储物仓（21）的正面固定设置有仓门（22）。

8.根据权利要求6所述的一种便于调节的双工位直投式光刻机，其特征在于，所述底座（1）的正面且位于仓门（22）的一侧固定设置有控制开关（23），所述驱动电机（20）和液压缸（14）均与控制开关（23）电性连接。