[发明专利]一种太阳能晶硅电池制绒方法、混合酸洗方法及混合酸洗药液

权利要求书

1.一种太阳能晶硅电池制绒方法，其特征在于，所述制绒方法按照以下步骤依次顺序实施：

S1，粗抛硅片表面，水洗S2，对硅片实施制绒，水洗S3，混合酸洗、水洗，S4，慢提拉所述硅片，S5，烘干所述硅片。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能晶硅电池制绒方法，其特征在于，所述S3具体为：采用Hcl、HF以及O3水制成的混合清洗药液对所述硅片进行清洗。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能晶硅电池制绒方法，其特征在于，所述Hcl、HF以及O3水制成的混合清洗药液为：以电阻率18MΩ以上的H2O为基础药液，与O3气体形成的质量分数0.001%-0.005%臭氧水溶液，与质量分数8%--15%的HF以及质量分数5-10%的Hcl混合组成。

4.根据权利要求1所述的一种太阳能晶硅电池制绒方法，其特征在于，所述S3具体为采用混合清洗药液在常温25℃-30℃的环境下对硅片进行清洗，去除硅片表面的金属杂质，之后，再用清水去除硅片表面的混合清洗药液。

5.根据权利要求1所述的一种太阳能晶硅电池制绒方法，其特征在于，所述S1具体为：去除硅片表面的加工损伤层，初步形成绒面，然后使用溢流水洗，清洗硅片表面残留的药液。

6.根据权利要求1所述的一种太阳能晶硅电池制绒方法，其特征在于，所述S4具体为：高温水洗清洗前道残液，慢提保证花篮内相邻硅片不会粘片，且高温水在短时间能够蒸发。

7.一种太阳能晶硅电池混合清洗药液，其特征在于，所述混合清洗药液采用Hcl、HF以及O3水制成。

8.根据权利要求7所述的一种太阳能晶硅电池混合清洗药液，其特征在于，所述混合清洗药液为：以电阻率18MΩ以上的H2O为基础药液，与O3气体形成的质量分数0.001%-0.005%臭氧水溶液，质量分数8%-15%的HF，质量分数5-10%的Hcl组成。

9.一种太阳能晶硅电池的混合酸洗方法，其特征在于，所述混合酸洗采用Hcl、HF以及O3水制成的混合清洗药液对所述硅片进行清洗。

10.根据权利要求9所述的一种太阳能晶硅电池的混合酸洗方法，其特征在于，所述Hcl、HF以及O3水制成的混合清洗药液为：以电阻率18MΩ以上的H2O为基础药液，与O3气体形成的0.001%-0.005%臭氧水溶液，与质量分数8%-15%的HF，质量分数5-10%的Hcl混合组成。