[发明专利]一种通过激光制作对位标记的金属掩膜版

权利要求书

1.一种通过激光制作对位标记的金属掩膜版，其特征在于，包括掩膜版主体，掩膜版主体通过张网的方式将四角的对位孔与图形区的位置拉到指定位置后，与金属掩膜框拼合形成金属掩膜版；

支撑掩膜版主体，寻找图形位置并对掩膜版主体上的图形位置进行多次校验；

对准掩膜版主体图形位置并平放并固定连接在框架台体上；

所述掩膜版主体利用激光制作出多个蒸镀对位标记。

2.根据权利要求1所述的一种通过激光制作蒸镀对位标记的金属掩膜版，其特征在于，所述激光制作的蒸镀对位标记有最少四个，分别设置于掩膜版主体的四角边缘处。

3.根据权利要求2所述的一种通过激光制作蒸镀对位标记的金属掩膜版，其特征在于，所述激光制作的蒸镀对位标记为全黑。

4.根据权利要求1所述的一种通过激光制作蒸镀对位标记的金属掩膜版，其特征在于，所述掩膜版主体通过激光焊接在金属掩膜框上。

5.根据权利要求4所述的一种通过激光制作蒸镀对位标记的金属掩膜版，其特征在于：激光焊接的误差控制在5-10μm。

6.根据权利要求1所述的一种通过激光制作蒸镀对位标记的金属掩膜版，其特征在于：所述图形位置校验次数不少于2次。

7.根据权利要求1所述的一种通过激光制作蒸镀对位标记的金属掩膜版，其特征在于：所述激光制作的蒸镀对位标记与掩膜版主体的间距控制在3-5cm。