[发明专利]一种密封性良好的石英炉管生产工艺及制作方法在审

专利信息
申请号: 202011402523.0 申请日: 2020-12-02
公开(公告)号: CN112441724A 公开(公告)日: 2021-03-05
发明(设计)人: 陈小三 申请(专利权)人: 中能半导体(连云港)有限公司
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00;C03C3/095;C03B17/04;C03B5/16;C03B1/00
代理公司: 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 代理人: 谷金颖
地址: 222000 江苏省连云*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 密封性 良好 石英 炉管 生产工艺 制作方法
【权利要求书】:

1.一种密封性良好的石英炉管生产工艺,其特征在于:所述生产工艺如下:

步骤一:对石英原石进行人工分选,剔除肉眼可见杂质及颜色与整体石英原石差异较大的石块,分选后的石英原石进行破碎,破碎后送入焙烧炉中进行焙烧;

步骤二:焙烧后送入冷水中进行冷却,冷却后进行干燥,干燥后进行破碎;

步骤三:破碎后进行筛分,筛分后进行脉冲除尘;

步骤四:除尘后送入磁选机进行磁选、去除残留的铁磁性矿物质,磁选后送入色选机进行色选;

步骤五:色选后进行酸洗以及浮选、浮选后对高纯石英砂进行冲洗,冲洗后进行烘干;

步骤六:将氧化铝和氧化钇混合粉粹,并用水混合溶解,将所得悬浊液雾化后均匀的喷在高纯石英砂上,之后进行烘烤;

步骤七:烘烤后送至连熔炉内进行熔炼,熔炼后通过变频牵引机,使得石英炉管成型。

2.根据权利要求1所述的一种密封性良好的石英炉管生产工艺,其特征在于:所述步骤一中,分选后的石英原石进行破碎成30-50mm。

3.根据权利要求1所述的一种密封性良好的石英炉管生产工艺,其特征在于:所述步骤一中,破碎后送入焙烧炉在600-800℃下焙烧0.5-1.1h。

4.根据权利要求1所述的一种密封性良好的石英炉管生产工艺,其特征在于:所述步骤二中,焙烧后送入冷水中进行冷却6-10s。

5.根据权利要求1所述的一种密封性良好的石英炉管生产工艺,其特征在于:所述步骤五中,酸洗为硝酸、磷酸、醋酸和草酸混合而成的水溶液。

6.根据权利要求1所述的一种密封性良好的石英炉管生产工艺及制作方法,其特征在于:所述步骤六中,将氧化铝和氧化钇混合粉粹,得到粒径≤260μm的微粒,用水混合溶解,将所得悬浊液雾化后在0.8MPa压力下均匀的喷在高纯石英砂上。

7.根据权利要求1所述的一种密封性良好的石英炉管生产工艺,其特征在于:所述步骤六中,烘烤的温度为700-900℃。

8.一种密封性良好的石英炉管的制作方法,其特征在于:所述制作方法如下:

步骤一:将高纯石英砂原料投入到连熔炉坩锅中,通过上盖将坩锅降到最低,通电熔融成料液,料液高温热沉淀后通过排气孔排出气体杂质和料液杂质;

步骤二:通过上盖提升坩锅,料液进入成型器料台进行成型,同时连续向坩锅内补充原料,通过牵引机向下拉制出石英炉管。

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